בתהליך הליתוגרפיה, סריקה באמצעות AFM אינה אפשרית אם טמפרטורת הדגימה משתנה אפילו בחצי מעלה. התנהגות הפוטורזיסט – תהליכי החימום השונים ושליטה בממדים של הדגימה – כולם תלויים בטמפרטורה. אם החימום שלכם אינו מסוגל לשמור על טמפרטורה קבועה ברמה של פחות מ-0.1°C, אז אינכם מודדים את הנתונים; אתם רק מנחשים.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו יוצרים את החיממים האלו על בסיס שלושה עקרונות: יציבות תרמית, ביצועים בסביבה נקייה, ושגרתיות בתהליכים. החיממים מסוגלים לשמור על טמפרטורה קבועה ברמה של ±0.1°C בטווח של 25°C עד 300°C, וזאת באמצעות סטנדרטים מדויקים למדידה. החיממים עשויים מקוורץ באיכות גבוהה ומרכיבים של אור באורך גל קצר, כדי למנוע פליטת גזים ויצירת חלקיקים. הגימורים השטחיים והאטמים מיועדים לשימוש בסביבות נקיות מסוג Class 1–100, כך שמספר החלקיקים נשאר נמוך ואין סיכוי לזיהום. השליטה בטמפרטורה נעשית באמצעות מעגל סגור עם פרופיל PID יציב, כך שתהליכי החימום נשארים בתוך הטווח הנדרש, ללא סטיות.
למה זה מתאים לתהליך ה-AFM? ב-AFM נדרשת טמפרטורה יציבה שנשמרת במהירות, ושמאפשרת חימום וקירור אחידים בין הפעמים השונות. החיממים האלו מסוגלים להגיע לטמפרטורה הרצויה תוך דקות ספורות, ולשמור על יציבות תרמית בין הפעמים השונות. זה אומר פחות צורך בחזרות על התהליך, שליטה טובה יותר בממדים החשובים, וזמני עבודה צפויים. היעילות נובעת משילוב מושלם בין החימום לבין האופטיקה, כך שאין פליטת חום שעלולה לפגוע במערכת.
מה עליכם לדעת מראש? ההתקנה כוללת התאמה של החיממים לממשק של מערכת ה-AFM, ושמירה על הטמפרטורה בתוך הטווח המותר. יש לוודא שהמתח והחיבורים תואמים, ושהחיישן אינו גורם להפרעות עם הפרובה. אווירה של ואקום או אוויר מבוקר משנה את העברת החום, לכן יש לשתף את תנאי החדר כדי שניתן יהיה להתאים את פרופיל השליטה. צפו לזמן קצר של ניסויים כדי להתאים את פרופיל ה-PID לדגימה הספציפית שלכם.