כשהמנורה נכשלה בכלי ה-RTP של Mattson, זה לא רק זמן השבתה. אתה מפסיד תקציב חום, פרופיל האפייה על הפוטו-רסיסט נדחף, ואתה פתאום מתמודד עם חריגה של חלקיקים שעלולה לפסול את המפל. אתה לא צריך פתרון עוקף שיכריח אותך לאשר מחדש את התהליך. אתה צריך תחליף שמתנהג בדיוק כמו המקורי. על מה התרכזנו, מבחינה טכנית בניתם את תחליף המנורה של Mattson RTP כמוצר תחליפי מדויק: רכיבי הלוגן בטווח קצר, מעטפות קוורץ, וגיאומטריית חוט המהונדסת לשליטה על טמפרטורה באופן ניתן לחזרה. המטרה היא אחידות תרמית ברמת הוופרים בטווח של ±0.1°C ופלט יציב במהלך חלונות האפייה הרכה והקשה שבהם הכימיה של הפוטו-רסיסט לא סולחת. זה פועל בחדרים נקיים בדרגת Class 1–100, ויצירת חלקיקים אפסית אינה דבר רצוי—זו הבסיס. נתוני שטח מראים ביצועים מתמשכים מעבר ל-5,000 שעות עם ירידה מינימלית, כך שאתה מקבל קמפיינים ארוכים ללא נדידה. למה זה חשוב על הקו ביצור, זה מתורגם ליותר פחות התאמות מתכון לאחר החלפת מנורה, שליטה יציבה על מימדים קריטיים, והתנהגות תשואה שניתן לסמוך עליה מפל למפל. צריכת החשמל מכוונת, והתגובה התרמית שומרת על הליתוגרפיה ושלבי החום שלאחר מכן בטווחים צפופים יותר. אתה שומר על אותו כוונה תהליך, את אותה לוגיקה לשליטה, ואת אותו שטח—רק הצרכן משתנה. כמה הערות מעשיות ההתקנה פשוטה בפלטפורמות Mattson RTP תואמות, אך בדוק את גיאומטריית החדר, סוג שקע המנורה, ויישור מחברים לפני שתזמין. אורך החיים התפעולי תלוי בהגדרות כוח, זרימת קירור, וכמה נקי החדר נשאר, אז שמור על לוח הזמנים של התחזוקה שלך הדוק ומעקב אחרי נדידת הפלט דרך שגרת SPC שלך.