Makinenizi ısıtmayı bırakın (ve yerine wafer’ınızı ısıtın)
Bir wafer ısıtma istasyonu kurarken, enerjinin silisyuma ulaşmasını istersiniz. Hiçbir şekilde enerjinin cihazın gövdesine sızmasını istemezsiniz.
Sorun şu ki, standart kızılötesi lambalar oldukça verimsizdir. Enerji her yöne yayılır. Dar alanlardaki yarı iletken ekipmanlarda bu boşa harcanan enerji iç duvarlardan geri seker. Kısa süre içinde ekipmanın gövdesi devasa bir ısı kaynağı haline gelir. Bu da parçaların bozulmasına veya daha kötüsü, operatörün yanmasına neden olabilir.
Enerjiyi tam istendiği yere yönlendirmek
Bunu, yönlendirilebilir kızılötesi teknolojisi kullanarak çözüyoruz. Sadece bir kuvars tüpü kullanmak yerine, belirli yansıtıcılar ve kaplamalar kullanarak kızılötesi dalgaları doğru yönde yönlendiriyoruz.
Bunu, bir ampul yerine el feneri kullanmak gibi düşünün. Işığın hüzmesini daraltarak enerjiyi doğrudan wafer yüzeyine yönlendiriyoruz. Böylece “yanlış yönde” giden radyasyonun her yere yayılmasını engelliyoruz.
Isı dağılımı kontrol altında kalıyor; enerji tam da olması gereken yere gidiyor.
Mesafe ve güvenlik arasındaki denge
Lambanın yerleştirildiği mesafe çok önemlidir. Eğer çok yakınsa, wafer üzerinde ısınma bölgeleri oluşur ve ısı dağılımı düzensiz olur. Çok uzaksa ise hızlı ısınma sağlanamaz.
Bu mesafeleri ayarlamak için çok zaman harcıyoruz. Amacımız, iç duvarların dokunulabilecek kadar soğuk kalmasını sağlamaktır. Lambalar yönlendirilebildiği için, ekipmanın tamamına ağır soğutucu sistemler eklemeye gerek yoktur.
Ancak dikkat edilmesi gerekenler
Bu bir sihirli çözüm değildir. Işığın hüzmesini odakladığınızda, odak noktasındaki ısı yoğunluğu artar. PID kontrol cihazlarının doğru şekilde ayarlanması gerekir; aksi takdirde hedef sıcaklığın üzerine çıkılabilir.
Ve en önemlisi: Optik bileşenleri temiz tutun. Eğer toz veya kimyasallar bu yansıtıcılara bulaşırsa, ışık hüzmesi dağılır. Böylece tekrar aynı sorunlarla karşı karşıya kalırsınız. Optik bileşenleri temiz tutarsanız, güvenlik avantajlarınız korunmuş olur.