Son durulama sırasında waferin nasıl kuruduğunu gözlemleyerek zamanın nasıl geçtiğini anlayabilirsiniz. Eğer ısı uygulaması geç gerçekleşirse veya eşit olmazsa, hızla su lekeleri, fotoresistin zarar görmesi ve verimlilik düşüşü gibi sorunlar ortaya çıkar. Biz de bu tür sorunların başlamasını engellemek için waferleri kurutmak üzere kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik.
İç yapıda önemli olan şeyler
Kompakt kuvars yapılar içinde kısa dalga boylu kızılötesi vericiler kullanıyoruz. Bu sayede enerji doğrudan aktarılır ve ısıl kütle düşük kalır; böylece hızlı tepki ve hassas kontrol sağlanır. Üretim sırasında, ürünün üzerindeki hava akışı sayesinde, kurutma bölgesindeki waferlerin sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit tutulur.
Kontrol, odanın duvarları yerine kalibre edilmiş sensörler aracılığıyla yapılır. Böylece her parti için tekrarlanabilirlik korunur. Isıtıcı paketleri temiz oda koşullarına uygun olup, 1–100 sınıfında değerlendirilir. Yüzeyler, parçacık oluşumunu ve gaz salınımını azaltacak şekilde tasarlanmıştır. Isıtıcı, 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve sabit yük altında %5’ten daha az yoğunluk değişikliği yaşanır.
Litografide ve fotoresist işlemlerinde neden işe yarıyor?
Litografi ve fotoresist işlemlerinde termal denge çok önemlidir. Yumuşak ve sert kurutma işlemleri, CD kalitesini, profilini ve kusur yoğunluğunu gereken seviyede tutabilmek için dar bir aralıkta gerçekleştirilmelidir. Kızılötesi ısıtıcılarımız, waferleri aşırı ısınmadan hızlı bir şekilde kurutur; böylece fotoresistin bütünlüğü korunur ve çizgi genişliği kontrolü sağlanır.
Hız elde edilirken aynı zamanda eşitlik de korunmuş olur. Isı tam olarak ihtiyaç duyulan yere gittiğinden enerji tüketimi azalır. Bunun sonucunda stabil kusur sayıları, öngörülebilir kurutma performansı ve daha az yeniden işleme ihtiyacı elde edilir.
Atölye ortamındaki bazı detaylar
Montaj sırasında uygun montaj toleranslarına ve hava akışının doğru yönlendirilmesine dikkat edilmesi gerekir. ±0,1°C’lik eşitlik aralığına ulaşabilmek için stabil bir laminer akış ve bölgeye giren rüzgarların engellenmesi gereklidir. Isıtıcılar standart yarı iletken ekipmanlarla uyumludur; ancak entegrasyon sırasında mesafe, termal yük ve sensör yerleşimi konularına dikkat edilmelidir.
Uzun ömürlülük mümkündür, ancak sıcaklık sensörünün düzenli olarak kalibre edilmesi gerekmektedir. İşte bu sayede belirlenen eşitlik uzun vadede korunabilir.