Fabrika katında, risklerin farkındasınız. Fotoğraf direnç yumuşak pişirme sırasında 1°C’lik bir dalgalanma, maruz kalmadan önce 300 mm’lik bir waferı atıl duruma getirebilir. Geleneksel sıcak plaka kenar yuvarlanmasıyla mücadele ederken, termal gecikme lotlar arası tekrar edilebilirlik sorunları yaratmaya devam ediyor. Spin kaplama ile uyumlu ve litografi ile hedefe ulaşan bir ısı yaklaşımına ihtiyacınız var.
Motorun altında ne önemli
Fotoğraf direnç ön pişirmesini kızılötesi ısıtıcılarla gerçekleştiriyoruz: hızlı, radyatif ısı ile sıkı sıcaklık kontrolü. Kısa dalga IR elemanları alt saniye süresinde tepki veriyor, bu nedenle wafer içindeki düzensizliği artıran gecikme ortadan kalkıyor. Wafer düzeyinde homojenlik, tüm yüzeyde ±0.1°C değerine ulaşıyor ve ayar noktası tekrar edilebilirliği ±0.2°C kayma aralığında kalıyor. Bu ısıtıcılar, sıfır parçacık salınımı ve düşük gaz çıkarımı ile Class 1–100 temiz odalarda rahatça çalışıyor. Kapalı döngü kontrolü, termal bütçeyi stabil tutuyor, böylece kritik boyutlar yumuşak pişirme ve ardından gelen maruz kalma sonrasında spesifikasyona uygun kalıyor.
Bunun fotoğraf direnç işlemlerinde neden önemli olduğu
Yumuşak pişirme, solventin çıkarılması ve film geriliminin ayarlandığı yerdir. IR ile enerji doğrudan dirençte, taşıyıcıda değil, bu nedenle solvent daha hızlı buharlaşır ve aşırı ısınma olmaz. Tutarlılık sağlarsınız, daha düşük hata yoğunluğu ve daha temiz hat kenarı pürüzlülüğü elde edersiniz. Sistem, minimal bakım ile 24/7 çalışır, konveksiyon araçlarından daha az enerji çeker ve işletme maliyeti eklemeden döngü süresini kısaltır.
Dikkat etmeniz gerekenler
IR performansı, emisyon ve yansıtma üzerine dayanır, bu nedenle yüksek metal içeriğine sahip istiflerin ayar noktası yeniden kalibrasyonu ve bölge gücünün yeniden dengelenmesi gerekebilir. Kurulum, sıcak noktaların önlenmesi için net bir görüş alanı ve temiz hizalama gerektirir. Emisyonu haritalamak ve bölge profillerini ayarlamak için kısa bir devreye alma süresi vardır, ancak bu tamamlandıktan sonra, işlem penceresi açılır ve pişirmeler günlerce stabil ve tekrar edilebilir kalır.