Üretim katında, soft bake veya hard bake sırasında yaşanan termal sapma sadece verimi hafifçe etkilemez — verimi tamamen yok eder. Bir Leybold vakum...

Üretim sahasında, bir lamba arızası duruş süresi değildir—hurda demektir. ASML litografi lambası performans düşüklüğü göstermeye başladığında, soft...