Litografi işlemlerinde, fotorezistin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sıcaklık değişikliğinin bile ürün kalitesini olumsuz etkileyebileceğini hızla öğrenirsiniz. Ayrıca, parçacık oluşumu da birçok waferin bozulmasına neden olabilir. Waferlerin ısıtılması işlemi her seferinde, her parti için tekrarlanabilir, temiz ve hızlı olmalıdır. Hiçbir istisna kabul edilmemelidir.
İç düzeyde önemli olanlar Wafer işlemleri için özel olarak tasarlanmış kızılötesi ısıtıcılar kullanılır; bunlar, belirlenen termal bütçeye uygun şekilde kısa dalga veya orta dalga emicilerle bir araya getirilir. Isıtma işlemi sırasında waferlerin sıcaklığı ±0,1°C civarında tutulur ve ayar noktasına ulaşma süresi 2 saniyeden azdır. Isıtıcı gövdesi kuvars ve yüksek saflıkta seramiklerden yapılmıştır ve bağlantı noktaları gaz sızıntısını ve kirlenmeyi engelleyecek şekilde mühürlenmiştir.
1–100 sınıfı temiz odalarda, parçacık oluşumunu en aza indirmek için özel düzenlemeler yapılır. Sıcak bölgede doğrudan hava akışı yoktur ve içeride parçacıkları yakalayacak yapılar bulunur. Kontrol, waferlerin ölçümlerine dayalı olarak kalibre edilmiş sensörler aracılığıyla gerçekleştirilir; böylece yumuşak ve sert ısıtma prosesleri her seferinde tutarlı kalır.
Fotorezist işlemlerinde bunun neden önemli olduğu Sıcaklık tekrarlanabilirliği, ürün kalitesini artırarak yeniden işleme ihtiyacını azaltır. Waferler üzerindeki ve ekipmanlar arasındaki sıcaklık homojenliği artarsa, çizgi genişlikleri daha düzenli hale gelir ve pozlama dozlarıyla ilgili sorunlar azalır.
Hızlı termal tepki sayesinde ısıtma süreleri kısalır ve bu da verimliliği artırır. Ayrıca, enerji tüketimi de azalır; çünkü emiciler sadece hedef alanı ısıtır, tüm odayı değil.
Güvenilirlik açısından ise, bu cihazlar 5.000 saatten fazla çalışabilir ve verimlilik kaybı %5’in altındadır. Bakım ise esas olarak lambaların değiştirilmesiyle gerçekleştirilir.
Planlamanız gereken pratik detaylar Kurulum, kullanılan ekipmana göre değişir. Odanızın mekanik yapısının incelenmesi ve makinenizin arayüzüne uygun bir konektör planının hazırlanması gerekmektedir.
Sistem, yansıtıcıların ve sensörlerin yerleşiminin uyumlu olması durumunda en iyi performansı gösterir. Bileşenlerin ayrı ayrı değiştirilmesi homojenliği kötüleştirir. En yüksek tekrarlanabilirlik için ısıtıcıyı özel bir kontrol cihazıyla birleştirmeli ve SPC kontrollerine bağlı olarak kalibrasyon takvimini belirlemelisiniz.