ביקורת אנרגטית לייבוש במפעל
הפחתת פליטות הפחמן במפעלי שבבים: למה ייבוש באמצעות אינפרא-אדום כן עובד בואו נהיה כנים לגבי מפעלי שבבים – חשבונות האנרגיה שלהם הם אדירים. אחד הגורמים...
מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS
עצירת השברים: שמירה על נקיון שבבי ה-MEMS שלכם במפעלי MEMS, למנורות אינפרא-אדום שפועלות בעוצמה גבוהה יש השפעות שליליות רבות – הן יכולות לגרום לנזק...
ייבוש מסך החיבור לוופרה
בשלב ייבוש מסכת החימום, מדובר לא בתהליך של חימום איטי. זו תנאי הכרחי, פשוט וברור. שינוי של 1.5°C עלול לגרום לאי-אחידות בעובי החומר על הוואפר, וכתוצאה...
מחמם אינפראאדום לייבוש וופרים
כשרואים איך הוופר יוצא מתהליך השטיפה האחרון, אפשר לדעת שהזמן עובר. אם החום מגיע באיחור או שהוא לא אחיד, נראות סימני מים, והאיכות של הוופר יורדת...
הפחתת אנרגיה בייבוש במפעלי ייצור
על רצפת המפעל, כל וואט שהמערכת לייבוש שואבת עובר בדיקה מדוקדקת. עלויות האנרגיה אינן יכולות לעלות עד לנקודה שבה נצטרך להסתכן בשלמות הפוטורזיסט. אם...