כשרואים איך הוופר יוצא מתהליך השטיפה האחרון, אפשר לדעת שהזמן עובר. אם החום מגיע באיחור או שהוא לא אחיד, נראות סימני מים, והאיכות של הוופר יורדת במהירות. יצרנו גרמי חימום באינפרא-אדום שמונעים את הבעיות האלו לפני שהן מתחילות.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגרמי חימום באינפרא-אדום בעלי גלים קצרים, המותקנים במערכת קוורץ קומפקטית. זה מאפשר העברה ישירה של אנרגיה, עם מסה תרמית נמוכה – כך שיש תגובה מהירה ושליטה מדויקת. במהלך תהליך הייצור, אנו שומרים על אחידות הטמפרטורה של הוופר בטווח של ±0.1°C בכל אזור הייבוש.
השליטה נעשית באמצעות חיישן מדויק, ולא על ידי קירות התא. כך נשמרת האחידות מלאט לאט. חבילת החימום מתאימה לחדרים נקיים, עם רמת ניקיון 1–100; המשטחים עוצבו כך שיווצרו מינימום חלקיקים וגזים. הפלט של החימום נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת החום.
למה זה עובד בתהליכי ליתוגרפיה וטיפול בפוטורזיסט? בתהליכי ליתוגרפיה וטיפול בפוטורזיסט, השליטה בטמפרטורה חיונית. יש לשמור על טמפרטורה קבועה כדי שהאיכות של הוופר תישמר. גרמי החימום שלנו מייבשים את הוופר במהירות, מבלי לגרום לעודף חום – כך שהפוטורזיסט נשאר שלם והשליטה ברוחב הקווים נשמרת.
כך ניתן לקבל מהירות ללא פגיעה באחידות, וצריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום הולך בדיוק למקום הנכון. התוצאה היא ירידה במספר הפגמים, ביצועים צפויים, ופחות צורך בתיקונים.
כמה פרטים חשובים בתהליך ההתקנה יש צורך בהתאמה של טולרנציות ההתקנה ובבדיקת מסלול האוויר. שמירה על אחידות של ±0.1°C תלויה בזרימת אוויר יציבה ובמניעת זרמי אוויר לא רצויים. גרמי החימום מתחברים לכלים הסטנדרטיים של תעשיית השבבים, אך עדיין יש צורך לבדוק את המרווחים, העומס התרמי ומיקום החיישנים.
החיים הארוכים של גרמי החימום אפשריים רק אם ממשיכים לבדוק את החיישן הטמפרטורה באופן קבוע. זה מאפשר שמירה על האחידות לאורך זמן.