הפחתת אנרגיה בייבוש במפעלי ייצור

על רצפת המפעל, כל וואט שהמערכת לייבוש שואבת עובר בדיקה מדוקדקת. עלויות האנרגיה אינן יכולות לעלות עד לנקודה שבה נצטרך להסתכן בשלמות הפוטורזיסט. אם...