בקו הייצור, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר שניתן לוותר עליו – זו נקודת המפתח בתהליך. חימום לא מדויק, אפילו במעט, עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר. אם אין אחידות בחימום, התוצאות יהיו לא איכותיות. פיתחנו את לוחות החימום באמצעות חומרי קרמיקה, כדי לשלוט בשינויים האלו, וכך לאפשר למכונות הליתוגרפיה לפעול 24/7 בתנאי טמפרטורה יציבים.
מה חשוב מבחינה טכנית? לוחות אלו משתמשים בגופי פליטה באינפרא-אדום, שמאפשרים חימום מהיר וממוקד. האחידות בטמפרטורה על פני הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשמרת מדור לדור. העיצוב של לוחות אלו מונע היווצרות של חלקיקים, כך שרמת החלקיקים בחדר הנקי נשארת ברמה של Class 1–100. אספקת האנרגיה יציבה, ויש שליטה מדויקת על הטמפרטורה, כך שפרופילי הפוטורזיסט נשארים אחידים מלוט ללוט.
זו הסיבה שהם עובדים טוב בייצור: צריך חום שמגיע במהירות, נשאר במקומו, ולא משפיע על תנאי התהליך. לוחות אלו מאפשרים חימום מדויק, מפחיתים את העלייה החדה בטמפרטורה, ומקצרים את זמן החימום, מבלי לאבד שליטה. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, שליטה טובה יותר בממדים, ותוצאות יציבות שניתן לתכנן אותן מראש. גם צריכת האנרגיה יורדת – יעילות גופי הפליטה מאפשרת לחום להגיע למקום הנכון, בלי לבזבז אותו על דפנות החדר.
ההתקנה כוללת התאמה של גודל הלוחות והחיבורים שלהם לציוד שלכם. יש לוודא שהחיבורים החשמליים תואמים את המערכת הקיימת. לוחות אלו עובדים בצורה טובה באוויר נקי ויבש, עם מתח חשמלי יציב. אם המתח יורד מעבר לטווח המותר, הביצועים ייפגעו. יש לתכנן מראש את הטמפרטורה ואת המרווחים הנדרשים, כך שהלוחות יעבדו בהרמוניה עם גאומטריה של החדר.