בתהליך הליתוגרפיה, לומדים במהירות כי שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום יכול לפגוע באיכות התוצר. בנוסף, קיומם של חלקיקים יכול לפגוע בהרבה וופרים. חימום הוופרים חייב להיות אחיד, מדויק ומהיר – בכל מחזור, בכל סדרה של וופרים. אין חריגים.
מה חשוב בתהליך החימום אנו מייצרים מחממים באינפרא-אדום בהתאמה אישית, כאשר אנו משתמשים בגלי אינפרא-אדום קצרים או בינוניים, בהתאם לדרישות התרמיות של המכונה. אנו שואפים לאחידות של ±0.1°C בטמפרטורה של הוופרים, כאשר זמן התגובה של המחמם הוא פחות מ-2 שניות. גוף המחמם עשוי מקוורץ וחומרים קרמיים באיכות גבוהה, והחיבורים בין החלקים סגורים כדי למנוע דליפת גזים וזיהום.
בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, אנו שומרים על רמת חלקיקים נמוכה. אין זרימת אוויר ישירה באזור החם, ואנו משתמשים במערכות לקליטת חלקיקים. השליטה בטמפרטורה היא אוטומטית, באמצעות חיישנים מדויקים, כך שהפרופילים של תהליך החימום נשארים אחידים ממחזור למחזור.
למה זה חשוב בתהליך עיבוד הפוטורזיסט אחידות הטמפרטורה היא הגורם שמאפשר שליטה טובה יותר ברוחב הקווים, וכך נמנעת עבודה חוזרת. עם אחידות תרמית גבוהה, הפילמים נשארים מוגנים. צריכת האנרגיה יורדת גם היא, מכיוון שהמחממים מחממים רק את האזור הרצוי, ולא את כל החדר.
האמינות של המערכת גבוהה מאוד: המערכות יכולות לעבוד 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים. התחזוקה כוללת בעיקר החלפת הנורות.
פרטים פרקטיים שכדאי להתחשב בהם ההתקנה תלויה בסוג המכונה. יש לבדוק את המבנה המכני של החדר ואת החיבורים של המכונה. המערכת תעבוד בצורה הטובה ביותר כאשר גאומטריית המחזירים ומיקום החיישנים יהיו תואמים. החלפת רכיבים בנפרד עלולה לפגוע באחידות. לשם שמירה על אחידות מרבית, יש לשלב את המחמם עם בקר מיוחד, ולשמור על לוח זמנים לקליברציה שתואם את בדיקות האיכות.