耐用的光阻烘烤加热器

在芯片制造车间中，评估光刻胶烘烤效果时，不能仅依据温度数值来判断。更重要的是要关注设备的正常运行时间、颗粒数量是否保持稳定，以及数千块晶圆上的CD值是否一致。如果烘烤加热器出现故障，生产线就会停止运转，从而导致产品损失以及能源浪费。 我们设计的这款加热器的优点及其重要性 我们采用了短波红外元件和石...