Mattson RTP 灯更换

当Mattson RTP设备的灯管损坏时，影响不仅仅是停机时间。热预算减少，光刻胶的软烘烤曲线发生偏移，同时面临可能导致整批晶圆报废的颗粒偏差问题。您不需要必须重新认证工艺的临时方案，而是需要一个行为表现与原装灯管完全一致的替代品。 我们的技术重点 我们将Mattson RTP灯管替换设计为直接符...