用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩

在7×24小时运转的制造线上，当灯管出现故障时，问题并不止于此——热传导会中断，光刻胶的厚度也会发生变化，进而导致需要重新加工。而石英玻璃制成的防护罩则能确保曝光和烘烤过程中的能量稳定，从而避免各种问题。 真正重要的因素是什么？ 我们使用高纯度的石英来制造这种防护罩，这样即便经过反复的加热冷却循环...