阻止碎片飞溅：保持MEMS晶圆清洁
在MEMS制造过程中，红外灯的损坏可不是小事——那简直就是一场噩梦。想象一下，当石英管在重压下破裂时，它不仅会停止工作，还会爆炸，让细小的玻璃碎片和金属颗粒散落在晶圆表面。这样一来，晶圆的合格率就会下降。我们专门设计了高效的红外加热器，就是为了防止这种情况发生。
为何石英管会破裂
通常，石英管破裂的原因是热应力或密封处出现电弧现象。当生产压力过大时，这些石英管就很容易承受不住压力而破裂。
为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英。它的热膨胀系数非常低，这意味着它能够承受快速的升温或降温过程而不会破裂。它被设计成能够承受各种压力。
防止碎片飞溅
如果红外灯真的损坏了，我们也不希望碎片接触到晶圆。因此，我们采用了双层防护结构。我们在加热元件与晶圆之间放置了专门的石英套管或防护罩，这样可以有效阻挡碎片。这样，晶圆就能保持清洁。
此外，我们对连接器也极为注重。如果端点没有正确连接，就可能出现局部过热的情况，从而损害石英管。我们使用精确匹配的连接器，确保电流均匀分布在灯丝上，从而避免出现过热或薄弱点。
平衡之道
其实，要快速干燥晶圆，就必须使用高强度的红外热量。但是，不能一直保持高功率运行。因为，每增加一点功率，都会给石英管带来更大的压力。这其实是一种权衡。为了防止石英管过早损坏，冷却气流必须与灯的输出功率相匹配。如果外壳过热，灯的寿命就会大大缩短。
我们设计的设备可以24/7持续运转。其目标很简单：保持稳定的热量输出，同时确保没有碎片飞溅。