如何让100级洁净室保持清洁状态
在运营100级洁净室时，哪怕有一粒微小的灰尘或一股异常的气体出现，那都可能带来灾难性的后果。因为大多数普通加热元件根本无法应对这种情况——它们在受热时会膨胀和收缩，这种不断的运动会导致微粒的产生，从而影响产品的质量。
为了解决这个问题，我们使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。
为何石英如此重要？
我们使用的都是几乎不含杂质的熔融石英。这样一来，就能避免那些由廉价材料导致的“积尘”问题。
这些灯管利用短波红外线辐射，其能量直接作用于晶圆表面，而不需要加热周围的空气。这样一来，就可以减少因对流作用而产生的灰尘，避免灰尘飘到工作区里。此外，石英具有化学稳定性，不会与腔室内的气体发生反应，因此晶圆能始终保持最佳状态。
设计上的细节
如果进行薄膜沉积或固化处理，精度至关重要。我们设计的灯管能够确保整个晶圆表面的温度均匀分布。根据需求，可以选择透明石英，让尽可能多的红外线透过；或者添加特殊涂层来调整波长。
我们还使用镀金或高镍电极，以防止密封处发生氧化现象。因为一旦密封失效，卤素气体会泄漏出来，导致灯丝立即烧毁。所以我们必须严格控制尺寸公差，这样就可以直接更换新灯管，而无需花费大量时间重新校准设备。
需要注意的几点
这类高强度灯管会释放出大量的热量。虽然晶圆能得到所需的温度，但灯管的外壳却会承受巨大压力。因此，必须确保冷却系统正常工作。如果气流不够强，热量会导致安装支架变形，那样就麻烦了。为了避免这种情况，我们建议使用专用的冷水冷却系统或高速强制通风系统，确保那些不应变热的部件保持低温状态。就这么简单。