Hãy cùng bàn về vấn đề an toàn điện trong quá trình xử lý wafer. Khi xử lý wafer, chúng ta cần hai yếu tố: nhiệt độ được phân bố đều, và không có sự rò rỉ điện năng nào xảy ra. Để đạt được điều này, chúng ta sử dụng các bóng đèn có khả năng phản xạ ánh sáng cao, nhằm đưa toàn bộ năng lượng hồng ngoại vào đúng vị trí cần thiết.
Nhưng có một vấn đề: những hệ thống này hoạt động ở điện áp cao. Điều đó có nghĩa là chính ở điểm tiếp xúc giữa bóng đèn và bộ phận phản xạ ánh sáng mới là nơi dễ xảy ra sự cố.
Tại sao chúng tôi kiểm tra từng thiết bị một? Chúng tôi không áp dụng phương pháp lấy mẫu ngẫu nhiên. Phương pháp này chỉ phù hợp với những người muốn mạo hiểm với thiết bị của mình. Thay vào đó, mỗi bóng đèn và bộ phận phản xạ ánh sáng đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu điện áp cao và độ cách điện trước khi được xuất xưởng.
Tại sao ư? Bởi vì một lỗ nhỏ trên lớp cách điện hoặc một hạt bụi trên bộ phận phản xạ ánh sáng cũng có thể gây ra sự cố. Trong môi trường phòng sạch, sự cố ngắn mạch không chỉ gây phiền toái, mà còn có thể phá hủy toàn bộ lô wafer đang được xử lý. Đó là điều mà không ai muốn xảy ra.
Về vấn đề cách điện: Điểm chúng tôi quan tâm nhất là khoảng cách giữa bộ phận sinh nhiệt và khung máy được nối đất. Chúng tôi tiến hành các bài kiểm tra với điện áp cao để đảm bảo rằng lớp cách điện có thể chịu được áp lực cao. Mục tiêu là giữ dòng điện trong sợi dây tóc của bóng đèn, và ngăn dòng điện lan vào khung máy. Nếu một thiết bị không vượt qua được bài kiểm tra này, thì nó sẽ bị loại bỏ. Chúng tôi không cố gắng sửa chữa nó, mà chỉ đơn giản là vứt bỏ nó thôi.
Những điều bạn cần biết về những hy sinh cần chấp nhận: Lớp phủ có khả năng phản xạ ánh sáng cao rất tốt cho hiệu suất làm việc, nhưng chúng cũng gây ra nhiều khó khăn. Nếu chúng không được áp dụng đúng cách, chúng có thể gây rối loạn cho hệ thống nối đất của máy. Dù vậy, chúng ta vẫn cần đảm bảo rằng hệ thống nối đất của máy đủ mạnh để chống lại hiện tượng tích tụ điện tích. Chúng tôi dành rất nhiều thời gian để điều chỉnh kích thước của bộ phận phản xạ ánh sáng sao cho đảm bảo không có sự rò rỉ điện năng nào xảy ra.
Một lưu ý cuối cùng: khi kết nối các bộ phận này vào máy, hãy chú ý đến độ chính xác của các kết nối. Nếu khoảng cách giữa các bộ phận quá nhỏ, thì sẽ không còn khoảng cách cần thiết để tránh sự cố. Hãy để có một khoảng cách vừa đủ – đó mới là cách an toàn nhất.