Khi một bóng đèn hỏng trên công cụ Mattson RTP của bạn, đó không chỉ là thời gian ngừng hoạt động. Bạn mất ngân sách nhiệt, hồ sơ nung của photoresist bị lệch, và bạn đang phải đối mặt với một sự gia tăng hạt có thể làm hỏng toàn bộ lô. Bạn không cần một giải pháp thay thế buộc bạn phải tái định nghĩa quy trình. Bạn cần một bộ phận thay thế hoạt động giống hệt như bộ phận gốc.
Những gì chúng tôi tập trung vào, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi đã chế tạo bộ phận thay thế bóng đèn Mattson RTP như một bộ phận thay thế theo thông số kỹ thuật: các yếu tố halogen sóng ngắn, bao bằng thạch anh, và hình dạng dây tóc được thiết kế để kiểm soát nhiệt độ lặp lại. Mục tiêu là sự đồng đều nhiệt độ ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C và đầu ra ổn định trong các khoảng thời gian nung mềm và nung cứng, nơi hóa học photoresist không thể khoan nhượng. Nó hoạt động trong các phòng sạch Class 1–100, và việc không phát sinh hạt không phải là một điều tốt đẹp—đó là tiêu chuẩn cơ bản. Dữ liệu thực địa cho thấy hiệu suất duy trì trên 5,000 giờ với sự suy giảm tối thiểu, vì vậy bạn có thể thực hiện các chiến dịch dài mà không bị lệch.
Tại sao điều này quan trọng trong sản xuất
Trong sản xuất, điều này có nghĩa là ít phải điều chỉnh công thức hơn sau khi thay bóng đèn, kiểm soát kích thước quan trọng ổn định, và hành vi năng suất mà bạn có thể tin tưởng từ lô này sang lô khác. Mức tiêu thụ điện được điều chỉnh, và phản ứng nhiệt giữ cho các bước quang khắc và nhiệt hạ nguồn của bạn nằm trong các khoảng thời gian chặt chẽ hơn. Bạn giữ nguyên ý định quy trình, cùng logic điều khiển, và cùng không gian—chỉ có bộ phận tiêu hao là thay đổi.
Một số lưu ý thực tế
Việc lắp đặt là đơn giản trên các nền tảng Mattson RTP tương thích, nhưng hãy kiểm tra lại hình dạng buồng, loại ổ cắm bóng đèn và căn chỉnh kết nối trước khi bạn đặt hàng. Tuổi thọ hoạt động sẽ phụ thuộc vào cài đặt công suất, dòng chất làm mát, và độ sạch của buồng, vì vậy hãy giữ nhịp độ bảo trì của bạn chặt chẽ và theo dõi độ lệch đầu ra thông qua quy trình SPC của bạn.