Trên sàn sản xuất, ngân sách nhiệt không phải là đề xuất mà là hợp đồng. Chênh lệch nửa độ trên bề mặt wafer đã đủ để làm thay đổi kích thước quan trọng, làm lệch cấu hình doping và xóa bỏ hàng giờ làm việc quang khắc. Trong RTP, hợp đồng đó vận hành dựa trên đèn halogen.
Điều thực sự quan trọng bên trong
Chúng tôi cung cấp bước sóng hồng ngoại ngắn truyền thẳng vào silicon và photoresist một cách nhanh chóng. Hình dạng sợi đốt và căn chỉnh phản xạ được thiết lập để đạt độ đồng đều trên wafer trong phạm vi ±0.1°C—chính xác yêu cầu cho kiểm soát dưới nanomet. Vỏ thạch anh và đầu nối kín khí giữ lượng hạt bụi dưới ngưỡng cho phòng sạch Class 1–100.
Mật độ công suất, điện áp và giao diện đầu nối được chỉ định phù hợp với kích thước buồng RTP sẵn có tại nhà máy. Đây là cách đảm bảo các chế độ soft bake và hard bake lặp lại được mà không có điểm nóng hoặc mép lạnh.
Lý do đảm bảo độ ổn định trên dây chuyền
Bạn cần độ ổn định nhiệt hoạt động liên tục 24/7, và đây là điểm các đèn này đáp ứng. Công suất phát ra duy trì ổn định trên 5,000+ giờ với sai lệch thấp, giảm số lần dừng máy ngoài kế hoạch và thay đèn. Lợi ích thu được là hành vi photoresist ổn định, kiểm soát CD chính xác hơn và giảm năng lượng tiêu thụ trên mỗi mẻ.
Tương thích phòng sạch và tạo hạt bằng 0 bảo vệ tỷ lệ sản phẩm đạt, đặc biệt ở các node tiên tiến, nơi chỉ một hạt bụi cũng có thể làm hỏng wafer.
Những lưu ý khi lắp đặt và vận hành
Lắp đặt yêu cầu căn chỉnh quang học chính xác và hiệu chuẩn riêng cho buồng. Nếu phản xạ không khớp hoặc đèn đặt sai vị trí, độ đồng đều sẽ bị phá vỡ.
Cần chú ý đến ứng suất nhiệt do quá trình chu kỳ nhiệt lên chân đèn và hệ thống dây điện—sử dụng đầu nối đúng chuẩn và tuân thủ nghiêm ngặt thông số lực siết và khoảng cách. Vận hành ở điện áp quy định là bắt buộc. Vận hành quá mức rút ngắn tuổi thọ đèn và làm thay đổi phổ phát quang, dẫn đến hồ sơ nhiệt không còn tin cậy.
Căn chỉnh đúng và vận hành trong giới hạn thông số kỹ thuật, đèn sẽ giữ quy trình ổn định, ca này sang ca khác.