Trong quá trình sấy lớp mặt nạ hàn, việc điều chỉnh nhiệt độ không phải là công việc đơn giản. Đó là một yêu cầu bắt buộc phải tuân thủ.
Sự chênh lệch nhiệt độ 1,5°C có thể khiến độ dày của lớp mặt nạ hàn thay đổi, và điều này sẽ khiến quy trình in ấn bị gián đoạn. Nếu bạn muốn đạt được sản phẩm không có khuyết tật, thiết bị điều khiển nhiệt độ phải hoạt động ổn định, chứ không được trở thành yếu tố gây ra sự biến đổi nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng cần được chú ý
Chúng tôi thiết kế hệ thống này sử dụng bức xạ hồng ngoại tầm ngắn từ các bộ phát quang halogen, giúp truyền nhiệt nhanh chóng và giữ nhiệt độ ổn định trên bề mặt wafer.
Yêu cầu cơ bản là độ đồng nhất của nhiệt độ: sai số không quá ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer trong quá trình sấy. Hệ thống kiểm soát vòng lặp đo nhiệt độ trực tiếp thông qua thiết bị đo nhiệt đã được hiệu chuẩn, chứ không phải thông qua nhiệt độ không khí trong buồng sấy. Nhờ vậy, mức nhiệt độ được duy trì ổn định.
Tiêu chuẩn của phòng sạch là từ loại 1 đến 100; vật liệu sử dụng phải ít thải khí, và dòng khí trong phòng sạch phải được kiểm soát chặt chẽ để tránh sự hình thành các hạt bụi. Độ lặp lại của quy trình được đảm bảo nhờ việc kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ, thời gian và tốc độ gia nhiệt – như vậy mỗi lô sản phẩm đều đạt được cùng mức nhiệt độ mong muốn, không cần phải đoán mò.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong thực tế
Hệ thống này được thiết kế dành riêng cho quy trình sấy lớp mặt nạ hàn ngay sau khi phủ lớp mặt nạ. Ở giai đoạn này, cần loại bỏ hết hơi ẩm và chất dung môi còn sót lại, mà không làm tổn hại đến lớp mặt nạ hay gây ra hiện tượng tái lỏng lớp mặt nạ.
Việc gia nhiệt nhanh giúp rút ngắn thời gian sấy, từ đó giảm nguy cơ hình thành lớp oxit trên bề mặt wafer trước khi tiếp tục quy trình sản xuất. Khi quá trình sấy được kiểm soát chặt chẽ, độ chính xác của các thông số kỹ thuật cũng được đảm bảo, giúp giảm thiểu khuyết tật liên quan đến lớp mặt nạ hàn. Điều này giúp nâng cao tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì nhiệt độ được cung cấp theo nhu cầu thực tế, thay vì để máy sưởi hoạt động liên tục. Do đó, số lượng sản phẩm bị hỏng giảm, thời gian sản xuất cũng được rút ngắn.
Những điều cần lưu ý khi lập kế hoạch
Hệ thống này cần có hệ thống cấp điện và đường dây nối đất phù hợp với đặc tính EMI của nó. Ngoài ra, thông số gia nhiệt cũng cần được điều chỉnh phù hợp với thành phần hóa học của lớp mặt nạ hàn.
Quá trình lắp đặt hệ thống diễn ra nhanh chóng – chỉ cần điều chỉnh độ mạnh của bộ phát nhiệt và tốc độ di chuyển của các bộ phận trong hệ thống sao cho phù hợp với lớp mặt nạ hàn. Một khi đã được điều chỉnh xong, quy trình sẽ hoạt động ổn định.
Tuy nhiên, khi thay đổi loại lớp mặt nạ hàn, các thông số kỹ thuật cũng cần được kiểm tra lại. Đó chính là cái giá phải trả để đảm bảo tính nhất quán trong quy trình sản xuất.