Menghentikan serpihan yang terhasil: Menjaga kebersihan wafer MEMS
Dalam kilang pembuatan MEMS, lampu inframerah yang meletup bukan sekadar masalah kecil. Ia merupakan bencana sebenar. Bayangkanlah tiub kuarsa yang gagal berfungsi akibat beban yang berlebihan. Bukan sahaja ia berhenti berfungsi, tetapi ia juga akan meletup, lalu menyebabkan serpihan kaca dan logam jatuh ke atas permukaan wafer. Dengan itu, hasil pengeluaran akan hilang sepenuhnya. Kami mereka ciri-ciri pemanas inframerah yang khusus agar perkara ini tidak berlaku.
Sebab tiub tersebut meletup
Biasanya, ia disebabkan oleh tekanan haba atau arus elektrik yang berlebihan di bahagian sambungan tiub tersebut. Apabila pengeluaran ditingkatkan hingga tahap maksimum, tiub-tiub ini akan menghadapi tekanan yang sangat tinggi.
Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi. Kuarsa jenis ini mempunyai koefisien pengembangan haba yang sangat rendah, yang bermaksud ia mampu menahan tekanan haba yang ekstrem tanpa pecah. Ia direka untuk tahan terhadap tekanan tersebut.
Menjaga kebersihan wafer
Jika lampu tersebut meletup, kita tentu tidak mahu serpihan tersebut mengenai wafer. Itulah sebabnya kami menggunakan sistem perlindungan dua lapisan. Kami meletakkan selubung kuarsa khas atau pelindung di antara komponen pemanas dan wafer. Ia berfungsi sebagai penghalang. Jika lampu tersebut meletup, serpihan tersebut akan terperangkap di dalam selubung tersebut. Dengan cara ini, wafer akan tetap bersih.
Selain itu, kami juga memastikan sambungan elektrik berfungsi dengan baik. Jika terminal tidak dipasang dengan betul, ia akan menyebabkan titik panas yang boleh merosakkan kuarsa. Kami menggunakan soket yang tepat supaya beban elektrik dapat disebar secara merata pada filamen. Tanpa titik panas, tiada lagi titik lemah.
Keseimbangan yang diperlukan
Haba inframerah berkepadatan tinggi adalah satu-satunya cara untuk mengeringkan wafer dengan cepat. Namun, kita tidak boleh meningkatkan kuasa pemanasan secara berterusan. Semakin banyak tenaga yang digunakan, semakin besar tekanan yang dikenakan pada kuarsa. Ini merupakan pertukaran yang perlu dilakukan. Untuk mengelakkan lampu daripada rosak lebih awal, aliran udara penyejuk perlu seimbang dengan keluaran lampu tersebut. Jika badan lampu menjadi terlalu panas, hayatnya akan berkurangan dengan cepat.
Kami membina peralatan ini untuk digunakan 24/7. Matlamatnya mudah: memastikan haba tetap stabil dan tiada serpihan yang terbentuk.