Menjaga Bilik Bersih Kelas 100 Tetap Bersih
Ketika mengendalikan bilik bersih kelas 100, walaupun hanya sedikit debu atau gas yang terhasil semasa proses pemanasan wafer, ia boleh menjadi masalah besar. Kebanyakan komponen pemanasan biasa tidak mampu menangani situasi ini. Komponen tersebut akan mengembang dan mengecut ketika dipanaskan, dan pergerakan berterusan ini akan menyebabkan pelepasan zarah-zarah kecil. Ini tentunya akan merosakkan hasil kerja anda.
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk lampu IR kami.
Mengapa kuarsa penting?
Kami menggunakan kuarsa yang hampir bebas daripada sebarang kekotoran. Ini dapat mengelakkan masalah debu yang sering berlaku pada lampu yang berkualiti rendah.
Lampu-lampu ini menggunakan sinaran IR gelombang pendek. Energi tersebut ditumpukan secara langsung pada permukaan wafer, bukan pada udara di sekelilingnya. Ini sangat penting kerana ia dapat mengurangkan arus konveksi yang boleh menyebabkan debu terbang ke permukaan wafer. Selain itu, kuarsa juga bersifat kimia yang stabil; ia tidak akan bereaksi dengan gas-gas yang ada di dalam bilik tersebut. Dengan cara ini, wafer akan tetap dalam keadaan yang sempurna.
Butiran reka bentuk
Jika anda melakukan proses pelapisan lapisan nipis atau proses pengeringan, ketepatan merupakan faktor yang sangat penting. Kami membina lampu-lampu ini agar suhu dapat diagihkan secara merata di seluruh permukaan wafer. Bergantung pada keperluan anda, anda boleh memilih kuarsa yang jernih agar sinar IR dapat melaluinya sepenuhnya, atau kita boleh menambah lapisan khusus untuk menyesuaikan panjang gelombangnya.
Kami juga menggunakan elektrod yang dilapisi emas atau nikel untuk mencegah oksidasi pada bahagian sambungan lampu. Jika sambungan tersebut rosak, gas halogen akan bocor keluar, dan filamen lampu akan cepat terbakar. Kami memastikan toleransi yang ketat agar lampu baru dapat digunakan tanpa perlu menghabiskan masa untuk menyetel semula peralatan tersebut.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan
Lampu-lampu berintensiti tinggi ini menghasilkan haba yang banyak. Walaupun wafer mendapat suhu yang tepat, bahagian lampu sendiri akan terkena kesan haba yang kuat. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika aliran udara terlalu lemah, haba tersebut akan merosakkan bahagian lampu. Untuk mengelakkan ini, kami mencadangkan penggunaan sistem penyejukan air atau udara bertekanan tinggi. Pastikan bahagian-bahagian yang tidak sepatutnya panas tetap sejuk. Sangat mudah saja.