Hentikan proses pemanasan mesin anda (dan mulailah memanaskan wafer tersebut).
Ketika anda menyediakan stesen pemanasan wafer, anda ingin agar tenaga panas itu sampai ke permukaan silikon sahaja. Anda tidak mahu tenaga panas tersebut meresap ke dalam badan mesin.
Masalahnya ialah lampu inframerah biasa menghasilkan haba ke semua arah. Dalam ruang yang sempit seperti alat semikonduktor, tenaga panas yang terbuang ini akan memantul pada dinding dalaman mesin. Akibatnya, badan mesin akan menjadi “penyerap haba” yang besar. Ini boleh menyebabkan komponen-komponen mesin rosak, atau lebih buruk lagi, operator boleh terbakar.
Bagaimana untuk mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya?
Kita menggunakan teknologi inframerah yang dapat mengarahkan sinaran haba ke arah tertentu. Daripada menggunakan tiub kuarsa biasa, kita menggunakan reflektor dan lapisan khas untuk mengarahkan sinaran inframerah tersebut.
Bayangkanlah ia seperti perbezaan antara mentol lampu biasa dengan lampu suluh. Dengan cara ini, tenaga panas akan disalurkan terus ke permukaan wafer. Ini dapat mengelakkan sinaran panas yang tidak diinginkan daripada tersebar ke seluruh dinding mesin.
Keseimbangan jarak dan keselamatan
Jarak antara lampu dan wafer sangat penting. Jika lampu terlalu dekat, akan timbul kawasan yang terlalu panas, dan pemanasan tidak akan merata. Jika lampu terlalu jauh, tenaga panas yang diperlukan untuk memanaskan wafer tidak akan mencukupi.
Kita perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan jarak ini. Tujuannya adalah untuk memastikan dinding dalaman mesin tetap sejuk. Kerana lampu tersebut berfungsi secara terarah, kita tidak perlu menggunakan sistem penyejukan yang berat untuk mengelakkan mesin daripada terlalu panas.
Cabaran yang perlu dihadapi
Ini bukanlah penyelesaian yang ajaib. Apabila kita memfokuskan sinaran haba ke satu titik, kepadatan haba di titik tersebut akan meningkat. Anda perlu memastikan pengawal PID berfungsi dengan baik, agar suhu tidak melebihi had yang ditetapkan.
Dan yang paling penting: pastikan optik lampu itu bersih. Jika debu atau bahan kimia masuk ke dalam reflektor tersebut, sinaran haba akan tersebar. Akibatnya, mesin akan kembali panas. Pastikan optik lampu sentiasa bersih, agar keselamatan operator terjamin.