Lihatlah bagaimana wafer tersebut keluar setelah proses pencucian terakhir. Dengan itu, kita dapat mengetahui bahawa waktu yang ada semakin berkurangan. Jika suhu pemanasan tidak mencukupi atau tidak konsisten, maka akan timbul masalah seperti kesan air pada permukaan wafer, serta penurunan kualiti wafer tersebut dengan cepat. Kami telah membangunkan pemanas inframerah khusus untuk mengelakkan masalah ini daripada berlaku.
Apa yang penting di belakang tabir
Kami menggunakan pengeluaran tenaga inframerah gelombang pendek dalam komponen kuarsa yang kompak. Ini membolehkan pemindahan tenaga secara langsung dengan beban haba yang rendah, sehingga memberikan respons yang cepat dan kawalan yang tepat. Di bawah aliran udara semasa proses pengeringan, suhu wafer dapat dikawal pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan pengeringan.
Kawalan dilakukan melalui sensor yang telah dikalibrasi, bukan melalui dinding ruang pengeringan. Dengan cara ini, kualiti hasil pengeringan tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Pakej pemanas ini sesuai digunakan di bilik bersih, dengan kelas kebersihan 1–100. Permukaannya direka agar dapat mengurangkan pembentukan zarah dan pelepasan gas. Prestasi pemanas ini tetap stabil walaupun digunakan selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti sekitar 5%.
Mengapa ini berkesan dalam proses litografi dan penggunaan photoresist
Dalam proses litografi dan penggunaan photoresist, penggunaan tenaga haba sangat penting. Profil pemanasan yang tepat diperlukan untuk memastikan kualiti wafer tetap baik. Pemanas inframerah kami memungkinkan wafer dikeringkan dengan cepat tanpa menyebabkan masalah, sehingga integriti photoresist tetap terjaga dan kawalan lebar garis tetap konsisten.
Anda mendapat kelajuan tanpa mengorbankan kualiti, dan penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba dialirkan ke tempat yang diperlukan sahaja. Hasilnya adalah jumlah kecacatan yang stabil, prestasi pemanasan yang boleh diramalkan, dan pengurangan keperluan untuk memproses semula wafer.
Beberapa detail penting
Pemasangan pemanas memerlukan toleransi pemasangan yang tepat serta saluran aliran udara yang betul. Untuk mencapai tahap keseragaman suhu ±0.1°C, aliran udara perlu stabil, dan aliran udara silang perlu dielakkan. Pemanas ini boleh digunakan bersama alat semikonduktor standard, namun integrasinya masih memerlukan penyesuaian dari segi jarak antara komponen, beban haba, dan lokasi sensor.
Walaupun pemanas ini mempunyai jangka hayat yang panjang, tetapi sensor suhu masih perlu dikalibrasi secara berkala. Itulah cara untuk memastikan keseragaman suhu tetap terjaga dari masa ke masa.