Di fasiliti pembuatan, kita tidak menilai kualiti proses pembakaran bahan fotoresist berdasarkan suhu semata-mata. Sebaliknya, kita menilainya...

Di lantai fabrik, anda tahu risikonya. Perubahan 1°C semasa pemanasan lembut fotoresist boleh membatalkan wafer 300mm sebelum anda dapat melakukan...