Di fasiliti pembuatan, kita tidak menilai kualiti proses pembakaran bahan fotoresist berdasarkan suhu semata-mata. Sebaliknya, kita menilainya berdasarkan masa operasi yang stabil, jumlah zarah yang terhasil, serta konsistensi CD pada ribuan wafer yang diproses. Jika pemanas tersebut gagal berfungsi dengan baik, proses pengeluaran akan terhenti, dan ini akan menyebabkan kerugian dari segi produk serta tenaga yang digunakan.
Apa yang telah kami bina, dan mengapa ia penting
Kami membina pemanas ini menggunakan elemen inframerah gelombang pendek dan struktur termal yang diperkuat dengan kuarsa. Dengan cara ini, konsistensi suhu pada setiap wafer dapat dicapai pada tahap ±0.1°C. Badan pemanas ini direka untuk digunakan dalam ruang bersih kelas 1–100; sambungan antara komponen dibuat dengan ketat, dan sistem ini mampu mengelakkan penghasilan zarah-zarah yang tidak diinginkan.
Ketepatan suhu tetap stabil sama ada semasa proses pembakaran yang lembut atau keras. Ini memastikan bahawa parameter eksposur tetap stabil dari satu sesi ke sesi yang lain. Pemanas ini direka untuk beroperasi 24/7 tanpa sebarang gangguan yang tidak dijangka. Umur pakai pemanas ini juga dapat diperpanjang melalui reka bentuk yang tahan karat serta gradien suhu yang terkawal, sehingga tekanan yang dialami oleh pemanas dapat dikurangkan.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, suhu pembakaran mempengaruhi aliran bahan fotoresist, baki pelarut, serta kemampuan bahan tersebut untuk menghilangkan lapisan tertentu. Dengan pemanas ini, proses pembakaran dapat dilakukan secara konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Ini seterusnya mengurangkan keperluan untuk melakukan pembaikan, serta meningkatkan kawalan terhadap kualiti CD.
Penggunaan tenaga juga dapat dikurangkan. Pemanas ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat, dan mengekalkannya tanpa berlaku penyimpangan. Oleh itu, kos tenaga untuk setiap wafer dapat dikurangkan. Selain itu, penggunaan alat ganti yang lebih sedikit juga bermakna gangguan dalam proses pengeluaran dapat dikurangkan.
Apa yang perlu dilakukan semasa pemasangan dan operasi
Pemasangan pemanas ini memerlukan penyesuaian yang tepat agar ia dapat disambungkan dengan betul ke permukaan hot plate, serta sambungan kuasa dan kawalan yang sesuai untuk ruang bersih. Kabel yang tidak sesuai boleh menyebabkan gangguan yang akan menyebabkan masalah konsistensi suhu.
Pemanas ini akan berfungsi dengan optimum apabila aliran udara di dalam bilik pengeluaran stabil, dan suhu persekitaran berada dalam julat yang ditetapkan. Adalah perlu untuk melakukan kalibrasi secara berkala untuk memastikan suhu tetap pada tahap ±0.1°C. Namun, jarak antara setiap kali kalibrasi tidak perlu terlalu kerap. Unit-unit yang digunakan oleh kami telah beroperasi selama puluhan ribu jam tanpa sebarang masalah.