حفظ استقامت الکتریکی در ترموکپلهای هیترها
هنگام کار با سیستمهای گرمایشی مبتنی بر نیمههادیها، استفاده از روشهای تقریبی کافی نیست؛ لازم است دقت بسیار بالایی وجود داشته باشد. ما از ترموکپلهای تخصصی برای نظارت بر دماها استفاده میکنیم؛ اما مشکل اصلی، جداسازی الکتریکی است.
در سیستمهای با ولتاژ بالا، نمیتوانیم اجازه دهیم جریان الکتریکی به جاهای نامناسب برود. حتی کمترین نشت جریان میتواند باعث خرابی کل ویفر یا از کار افتادن کل سیستم شود. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
چرا هر ترموکپل را آزمایش میکنیم؟
ما از روش آزمایش نمونهها استفاده نمیکنیم؛ زیرا این روش خطرناک است. در عوض، هر ترموکپل قبل از اینکه وارد سیستم شود، تحت آزمایشهای سختی از نظر تحمل ولتاژ و مقاومت عایقبندی قرار میگیرد.
چرا؟ چون حتی یک سوراخ ریز در عایق یا یک جوش ناقص، میتواند باعث مشکلات جدی شود. اگر یک سنسور در حین استفاده خراب شود، در واقع به یک پل الکتریکی تبدیل میشود و اجازه میدهد جریان الکتریکی وارد بدنه هیتر شود. در این صورت، سیگنالهای نامناسبی ایجاد میشود و کنترل PID نیز دچار مشکل میشود. با آزمایش دقیق عایقبندی، مطمئن میشویم که سنسور در لحظه اتصال به سیستم، خراب نشود.
تعادل بین مواد و سرعت
برای مقاومت در برابر شرایط محیطی نیمههادیها، از آلومینا با خلوص بالا یا رزینهای سرامیکی ویژه استفاده میکنیم؛ این مواد در جلوگیری از عبور جریان الکتریکی بسیار مؤثر هستند.
اما مشکل اینجاست که اگر عایقبندی را برای ایجاد امنیت بیشتر، ضخیم کنیم، سنسور کندتر عمل خواهد کرد و زمان بیشتری برای تشخیص تغییرات دما صرف خواهد کرد. ما سعی میکنیم ضخامت مناسبی برای عایقبندی پیدا کنیم تا هم استقامت الکتریکی حفظ شود و هم سنسور بتواند به سرعت واکنش نشان دهد.
نکته مهم برای استفاده در محیطهای واقعی
پس از نصب این ترموکپلها، آنها باید مقاومت در برابر تغییرات دمایی مداوم را داشته باشند؛ یعنی باید بتوانند در برابر انبساط و انقباض مداوم مقاومت کنند. ما آنها را طوری طراحی میکنیم که بتوانند این فشارها را تحمل کنند.
فقط یک هشدار: محکم کردن بیش از حد براکت نصب، میتواند باعث شکستن پوشش سرامیکی شود. اگر این کار را انجام دهید، ممکن است عایقبندی از بین برود؛ در این صورت، سنسور دچار مشکل خواهد شد.