دیگر نیازی نیست نگران خرابی لامپهای مورد استفاده در فرآیند تولید ویفرها باشید.
در تجهیزات تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز مشکل سادهای نیست؛ بلکه یک فاجعه به حساب میآید.
وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، نه تنها دیگر کار نمیکند، بلکه تکههای شیشهای و ذرات مختلفی را در سطح ویفرها پخش میکند. یک لامپ خراب میتواند کل محموله تولید شده را از بین ببرد. ما راه بهتری برای مقابله با این مشکل پیدا کردیم: لامپهای مادون قرمز را در غلافهای فولادی ساخته شده به صورت سفارشی قرار میدهیم.
کنترل آلودگیها
میتوانید این غلافها را مانند یک محافظ برای ویفرها در نظر بگیرید. ما از فولاد استیل با کیفیت بالا برای ساخت دیواری بین عنصر گرمایشی و ویفرها استفاده میکنیم.
اگر لامپ در اثر فشار حرارتی خراب شود، غلاف تکههای شیشهای را در خود نگه میدارد؛ بنابراین هیچ تکهای وارد منطقه فرآوری نمیشود، ویفرها خراب نمیشوند، و فشار کاری بر روی تیم شما نیز کاهش مییابد.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم ضخامت این غلافها کردیم؛ اگر ضخامت آنها بیش از حد باشد، حرارت بیش از حدی تولید میشود؛ اما اگر ضخامت آنها کم باشد، غلاف شروع به لرزش میکند و این امر باعث خرابی سریعتر لامپها میشود. این یک تعادل ظریف است، اما روش مؤثری است.
استقرار لامپها
ما همچنین به سیستمهای نگهداری لامپها توجه کردیم؛ اگر لامپها کمی خم شوند، نقاط گرم ایجاد میشود و این نقاط گرم باعث خرابی لامپها میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، از سیستمهای نگهداری دقیق و کلیپهای مقاوم در برابر حرارت استفاده میکنیم. کلیپها لامپها را در جای خود نگه میدارند، اما اجازه میدهند که لامپها در هنگام گرم شدن کمی کشیده شوند. اگر کلیپها را خیلی محکم ببندید، لامپها در هنگام افزایش توان، خراب خواهند شد.
معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از غلافها به این معناست که یک لایه فلزی بین منبع حرارتی و ویفرها وجود دارد. این امر باعث ایجاد تأخیر حرارتی میشود؛ بنابراین شاید نیاز باشد تنظیمات PID را تغییر دهید یا توان لامپها را کمی افزایش دهید تا سرعت گرم شدن ویفرها در حد مطلوب باقی بماند.
خبر خوب این است که ما این غلافها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ بدون اینکه نیاز به تعمیر کل تجهیزات باشد. این روش، راهی سریع برای کاهش نگرانیها است.