چرا ما سرانجام به استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا روی آوردهایم؟
بیایید صادق باشیم: روش قدیمی خشک کردن و تثبیت نیمههادیها، روشی ناکارآمد است. با وجود فرهای حرارتی قدیمی و مواد شیمیایی مضر، دیگر این روش مناسب نیست. ما شاهد تغییرات چشمگیری در سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا هستیم. چرا؟ چون این لامپها تمیزتر، سریعتر عمل میکنند و در عین حال به محیط زیست آسیبی نمیرسانند.
خاتمه دادن به گرم کردن هوا
فرهای حرارتی قدیمی، نیمی از زمان خود را صرف گرم کردن هوا و دیوارههای دستگاه میکنند؛ در حالی که ویفرها هنوز اصلاً گرم نشدهاند. این کار اتلاف انرژی است.
لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، به شکل متفاوتی عمل میکنند؛ آنها از تشعشعات موج کوتاه برای انتقال انرژی به سطح ویفرها استفاده میکنند. هیچ واسطهای وجود ندارد؛ هیچ انرژی اتلاف نمیشود.
علاوه بر این، دیگر نیازی به استفاده از مواد حلالی نیست؛ این امر باعث میشود بازرسیهای مربوط به محیط زیست بسیار آسانتر شود.
حفظ تمیزی
در اتاقهای تمیز، کوچکترین مقدار گاز آزاد شده نیز میتواند کار شما را خراب کند. به همین دلیل از لولههای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این لولهها مانع از ورود ناخالصیهای فلزی به ویفرها میشوند.
بهترین بخش این است که سرعت عمل این لامپها بسیار بالاست؛ میتوانید در عرض چند ثانیه دمای لازم برای تثبیت ویفرها را به دست آورید. ویفرها برای مدت طولانی در معرض گرما قرار نمیگیرند؛ بنابراین سطوح نازک ویفرها تغییر شکل نخواهند داد. این موضوع واقعاً خوب است.
تضادها
البته، این لامپها کاملاً بینقص نیستند؛ آنها دارای تراکم گرمایی بسیار بالایی هستند. این موضوع برای تثبیت سریع ویفرها خوب است، اما فشار زیادی بر سیستمهای تأمین انرژی و سیستمهای خنککننده وارد میکند.
اگر سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این فشار نباشد، دستگاه شما دچار مشکل خواهد شد. بنابراین باید مطمئن شوید که زیرساختهای شما واقعاً قادر به مقابله با این فشارها هستند.
تغییر روش
اگر هنوز از گرمکنهای قدیمی استفاده میکنید، این لامپها میتوانند جایگزین مناسبی برای آنها باشند.
تفاوت این روشها واقعاً چشمگیر است؛ زمان خشک شدن ویفرها از دقایق به ثانیهها کاهش مییابد. فضای مورد نیاز برای نصب دستگاهها کمتر میشود، هزینه برق نیز کاهش مییابد؛ و در نهایت، میتوانید استانداردهای زیستمحیطی را بدون مشکلی رعایت کنید.