حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
وقتی که در حال استفاده از اتاقهای کلاس ۱۰۰ هستید، حتی وجود یک ذره گرد و غبار کوچک یا یک جریان گاز ناخواسته در حین گرم کردن ویفر، مشکلات بزرگی را به وجود میآورد. اکثر عناصر گرمایشی استاندارد نمیتوانند با این شرایط کنار بیایند؛ زیرا آنها در حین گرم شدن منبسط و انقباض میشوند، و این حرکت مداوم باعث ایجاد ذرات ریز میشود. این موضوع برای بازدهی کار شما مشکلات زیادی ایجاد میکند.
ما برای جلوگیری از این مشکلات، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا در ساخت لامپهای IR استفاده میکنیم.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از سیلیکا فرآوریشده با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم؛ این کار باعث جلوگیری از ایجاد گرد و غبار میشود. این لامپها از تابش IR با طول موج کوتاه استفاده میکنند؛ بنابراین انرژی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود. این امر مزیت بزرگی دارد؛ زیرا جریانهای حرارتی ناشی از گرمایش کاهش مییابد و این امر باعث میشود گرد و غبار روی سطح ویفر نیفتد. علاوه بر این، کوارتز از نظر شیمیایی بیاثر است؛ بنابراین با گازهای موجود در اتاق واکنشی نخواهد داشت، و ویفر در همان حالت باقی خواهد ماند.
جزئیات مربوط به طراحی
اگر قصد انجام فرآیندهای تشکیل لایههای نازک روی ویفر را دارید، میدانید که دقت بسیار مهم است. ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش شود. بسته به نیاز شما، میتوانید از کوارتز شفاف استفاده کنید تا حداکثر میزان تابش IR عبور کند؛ یا میتوانید روکشهای خاصی روی لامپها اضافه کنید تا طول موج تابش تنظیم شود.
همچنین، از الکترودهای طلاکاریشده یا الکترودهای پر از نیکل برای جلوگیری از اکسیداسیون استفاده میکنیم. اگر این سیستم از کار بیفتد، گاز هالوژن از بین میرود و فیلامنت لامپ نیز در عرض لحظه از کار میافتد. ما این محدودیتها را به خوبی کنترل میکنیم تا بتوانید به راحتی لامپ جدیدی را جایگزین کنید، بدون اینکه نیاز به تنظیم مجدد تجهیزات داشته باشید.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
این لامپهای با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند؛ بنابراین باید سیستم خنککننده مناسبی داشته باشید. اگر جریان هوا ضعیف باشد، گرما باعث تغییر شکل براکتهای نگهدارنده ویفر خواهد شد. برای جلوگیری از این مشکل، معمولاً از سیستمهای خنککننده مبتنی بر آب سرد یا هوای با سرعت بالا استفاده میکنیم. قطعاتی که نباید گرم شوند، باید خنک باقی بمانند. این همه چیز است!