با تماشای لحظهای که ویفر از مرحله شستشوی نهایی خارج میشود، متوجه میشوید که زمان در حال گذر است. اگر گرما دیر وارد شود یا به طور یکنواخت نباشد، به سرعت علائمی مانند ردپاهای آبی، تغییرات در سطح فوتورزیست و کاهش کیفیت محصول مشاهده خواهد شد. ما برای جلوگیری از این مشکلات، از هیترهای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها استفاده کردهایم.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از فرستندههای مادون قرمز با موج کوتاه در یک ساختار کوارتزی استفاده میکنیم. این روش، انتقال انرژی مستقیمی است و باعث کنترل دقیقتر و پاسخ سریعتر میشود. در حین فرآیند تولید، ما دمای ویفر را در منطقه خشک کردن، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم. کنترل دما از طریق حسگرهای دقیق انجام میشود؛ این روش باعث میشود که کیفیت محصول در هر بار تولید یکنواخت باقی بماند. پکیج هیتر نیز سازگار با محیطهای پاک است؛ سطوح آن نیز به گونهای طراحی شدهاند که تولید ذرات و گازها کاهش یابد. خروجی انرژی این هیتر در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند و تغییرات شدیدی در شدت انرژی رخ نمیدهد.
چرا این روش در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست مؤثر است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست، محدودیتهای زیادی در زمینه گرما وجود دارد. برای حفظ کیفیت محصول، باید دما در محدودههای مشخصی نگه داشته شود. هیترهای مادون قرمز ما، ویفرها را به سرعت خشک میکنند، بدون اینکه دما بیش از حد افزایش یابد؛ بنابراین کیفیت فوتورزیست حفظ میشود و کنترل عرض خطوط نیز یکنواخت باقی میماند. شما میتوانید از سرعت بالای این روش استفاده کنید، بدون اینکه کیفیت محصول کاهش یابد؛ همچنین مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا گرما دقیقاً به جایی که لازم است، ارسال میشود. نتیجه این روش، تعداد کمتری از عیبها، عملکرد پیشبینیپذیر و کاهش نیاز به تولید مجدد محصول است.
برخی جزئیات مربوط به نصب:
برای نصب این هیتر، باید محدودیتهای لازم برای نصب و مسیر جریان هوا رعایت شود. حفظ یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد، به جریان هوای پایدار و جلوگیری از ورود جریانهای هوایی ناخواسته به منطقه خشک کردن بستگی دارد. این هیتر با ابزارهای استاندارد نیمههادی سازگار است، اما هنوز نیاز به بررسی فاصلهها، بار حرارتی و موقعیت حسگرها وجود دارد. این هیتر دارای عمر طولانی است، اما همچنان باید حسگر دما به طور منظم کالیبره شود؛ این کار باعث میشود که یکنواختی دما در طول زمان حفظ شود.