در کارخانه، شما از ریسکها آگاه هستید. تغییر دما ۱ درجه سانتیگراد در طول نرمپخت فتورزین میتواند یک ویفر ۳۰۰ میلیمتری را قبل از اینکه حتی به مرحله تابش برسید، خراب کند. صفحات داغ معمولی با چرخش لبهها مبارزه میکنند و تأخیر حرارتی باعث ایجاد سردرگمی در تکرارپذیری از دستهای به دسته دیگر میشود. شما به یک روش حرارتی نیاز دارید که با پوشش چرخشی همگام باشد و به هدف در لیتوگرافی برسد.
آنچه در زیر کاپوت اهمیت دارد
ما نرمپخت پیشین فتورزین را با بخاریهای مادون قرمز انجام میدهیم: حرارت سریع و تابشی با کنترل دما دقیق. عناصر مادون قرمز کوتاهموج در زمان کمتر از یک ثانیه پاسخ میدهند، بنابراین تأخیری که باعث عدم یکنواختی درون ویفر میشود، از بین میرود. یکنواختی در سطح ویفر به ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سرتاسر سطح میرسد و تکرارپذیری نقطه تنظیم در ±۰.۲ درجه سانتیگراد حفظ میشود. این بخاریها به راحتی در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ قرار میگیرند، با هیچ گونه خروج ذرهای و خروج گاز کم. کنترل حلقه بسته بودجه حرارتی را پایدار نگه میدارد، بنابراین ابعاد بحرانی پس از نرمپخت و تابش بعدی در محدوده مشخصات باقی میمانند.
چرا این در پردازش فتورزین اهمیت دارد
نرمپخت جایی است که حذف حلال و تنش فیلم تنظیم میشود. با مادون قرمز، انرژی مستقیماً به فتورزین میرود، نه به حامل، بنابراین حلال سریعتر بدون اضافهبرداری تبخیر میشود. شما ضخامت یکنواخت، چگالی نقص کمتر و زبری لبه خط تمیزتری دریافت میکنید. این سیستم به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با حداقل نگهداری کار میکند، انرژی کمتری نسبت به ابزارهای جابجایی مصرف میکند و زمان چرخه را بدون افزایش هزینه عملیاتی کاهش میدهد.
آنچه باید مراقب آن باشید
عملکرد مادون قرمز به امیسیویتی و انعکاس وابسته است، بنابراین انباشتهای با محتوای فلزی بالا ممکن است به کالیبراسیون مجدد نقطه تنظیم و بالانس مجدد قدرت منطقه نیاز داشته باشند. نصب نیاز به خط دید واضح و تراز تمیز دارد تا از نقاط داغ جلوگیری شود. یک دوره کوتاه راهاندازی برای نقشهبرداری از امیسیویتی و تنظیم پروفیلهای منطقه وجود دارد، اما پس از آنکه این کار انجام شد، پنجره فرآیند باز میشود و نرمپختها پایدار و تکرارپذیر میمانند، روز به روز.