درون دستگاه چه اهمیتی دارد
ما منابع NIR را با کنترل حلقه بسته ترکیب میکنیم تا یکنواختی سطح ویفر را در ±0.1°C در طول پروفیل پخت به دست آوریم. نقاط تنظیم پخت نرم و پخت سخت به دقت نگه داشته میشوند، بنابراین ابعاد بحرانی پس از لیتوگرافی محافظت میشوند. سازگاری با کلاس تمیزی 1–100 یک فکر ثانویه نیست—مسیرهای جریانی، مواد و مهر و مومها به گونهای انتخاب شدهاند که تولید ذرات را به صفر برسانند. این واحد برای کارکرد 24/7 طراحی شده است، با اجزا و طراحی حرارتی که برای وظیفه مداوم رتبهبندی شدهاند، و به ابزارهای فرآیند موجود از طریق رابطهای استاندارد متصل میشود.
چرا در کارخانه کارایی دارد
ما با گرم کردن سریع و هدفمند انرژی را کاهش میدهیم، مدت زمان بخش پخت/خشککردن را کوتاه میکنیم بدون اینکه به بودجه حرارتی آسیب بزنیم. شما هنوز هم دستور پخت را انجام میدهید، اما زمان کمتری را در دما سپری میکنید و تلفات استندبای را کاهش میدهید. این به عنوان kWh کمتری به ازای هر دسته، کارهای بازسازی کمتر ناشی از حلالهای باقیمانده و زمان چرخهای ثابت نشان میدهد. همان دقت حرارتی باعث میشود که خشککردن بعد از تمیزکردن ویفر یکنواخت بماند، بنابراین مشکلات جمعشدگی و لبه جمعشدگی بدون خشککردن بیش از حد کنترل میشوند.
نکات عملی
نصب به تطبیق خروجی، خنککننده و بوس کنترل بستگی دارد—برنامهریزی برای اتصال به خدمات را در طول پنجره PM بعدی انجام دهید. سیستم در زمانی بهترین عملکرد را دارد که نظافت دقیق باشد؛ ورودیها را از انباشت پاک نگه دارید و کالیبراسیون را در برنامهای نگه دارید که با ریتم PM شما همراستا باشد.