در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند گرم کردن رزست، میتواند باعث اختلال در کار پروسس شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته میتواند باعث خراب شدن تعداد زیادی از ویفرها شود. گرم کردن ویفرها باید به صورت قابل تکرار، تمیز و سریع انجام شود؛ در هر چرخه و هر دسته از ویفرها. هیچ استثنایی وجود ندارد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما گرمکنهای مادون قرمز سفارشی برای پردازش ویفرها طراحی میکنیم؛ این گرمکنها از امیترهای موج کوتاه یا موج متوسط برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنند. در منطقه گرمایش، هدف ما دستیابی به یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ زمان پاسخگویی گرمکن نیز کمتر از ۲ ثانیه است. بدنه گرمکن از کوارتز و سرامیکهای با خلوص بالا ساخته شده است؛ همچنین، اتصالات گرمکن نیز به خوبی بسته شدهاند تا از ورود گازها و آلایندهها جلوگیری شود.
در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰، ما تولید ذرات را از طریق طراحی مناسب، کنترل میکنیم. هیچ جریان هوای مستقیمی در منطقه گرمایش وجود ندارد؛ همچنین، از سیستمهای جذب ذرات درونی برای کنترل ذرات استفاده میشود. کنترل دما به صورت بسته انجام میشود؛ از سنسورهای دقیق برای اندازهگیری دما استفاده میشود تا پروفایلهای گرمایشی یکنواخت باقی بمانند.
چرا این موضوع در فرآیند پردازش رزست اهمیت دارد؟ یکنواختی دما، عاملی است که کنترل عرض خطوط را بهبود بخشیده و کارهای تکراری را کاهش میدهد. با یکنواختی دمایی در سراسر ویفر و ابزارهای مورد استفاده، توزیع عرض خطوط بهتر میشود و نیاز به تنظیمات مداوم کمتر میشود.
پاسخگویی سریع گرمکن، مراحل گرم کردن را کوتاه میکند؛ در نتیجه، بازدهی بهبود یافته و لایههای تشکیل شده نیز محافظت میشوند. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمکنها فقط هدف مورد نظر را گرم میکنند، نه کل اتاق.
قابلیت اطمینان این سیستم نیز بالا است؛ دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کارایی آنها کمتر از ۵٪ شود؛ همچنین، تعمیرات این دستگاهها عمدتاً شامل تعویض لامپها است.
جزئیات عملی که باید در نظر بگیرید: نصب این دستگاهها بستگی به نوع ابزار مورد استفاده دارد؛ بنابراین، باید بررسیهای لازم بر روی اتاقهای مربوطه انجام شود. همچنین، باید اتصالات مناسبی برای اتصال دستگاهها به سیستمهای مربوطه فراهم شود.
این سیستم زمانی بهترین عملکرد را دارد که ژئومتری بازتابندهها و محل قرارگیری سنسورها یکسان باشد؛ تعویض جداگانه اجزاء، باعث کاهش یکنواختی دما میشود. برای دستیابی به بالاترین سطح یکنواختی، باید گرمکن را با یک کنترلر مخصوص همراه کرد و برنامههای کالیبراسیون مناسبی نیز طراحی کرد.