Як запобігти утворенню „шрапнелі“: як зберегти чистоту пластин МЕМС
У заводах з виробництва МЕМС несправна інфрачервона лампа є справжньою проблемою. Уявіть собі кварцову трубку, яка ламається під великим навантаженням. Вона не лише перестає працювати, але й розривається, поширюючи на поверхню пластини дрібні уламки скла та металеві частинки. В результаті продуктивність виробництва значно знижується. Ми розробляємо спеціальні нагрівачі для інфрачервоного опромінення, щоб цього не сталося.
Чому трубки розриваються
Зазвичай причиною є тепловий стрес чи електричні перешкоди саме в місці з’єднання. Коли виробництво працює на максимум, ці трубки сильно страждають.
Як запобігти цьому
Щоб уникнути цього, ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. У нього дуже низький коефіцієнт теплового розширення, що означає, що він може витримати різке нагрівання та охолодження без руйнування. Цей матеріал призначений для таких умов.
Як уникнути забруднень
Якщо лампа все ж таки зламається, ми не хочемо, щоб уламки потрапили на пластини. Тож ми використовуємо двошарову систему захисту. Між нагрівальним елементом та пластинами знаходиться спеціальна кварцова оболонка чи захисний екран. Якщо лампа зламається, уламки залишаються всередині оболонки. Таким чином пластини залишаються чистими.
Як підтримувати оптимальні умови
Висока інтенсивність інфрачервоного випромінювання – це єдиний спосіб швидко осушити пластини. Але не можна постійно підвищувати потужність. Чим більше ватт на один квадратний сантиметр, тим більше навантаження на скло. Це компроміс. Щоб лампи не зламувалися раніше часу, потрібно, щоб потік повітря для охолодження ідеально відповідав потужності лампи. Якщо корпус стає занадто гарячим, термін служби лампи значно скорочується.
Ми створюємо пристрої для 24/7 роботи. Мета проста: підтримувати постійну температуру та мінімізувати кількість частинок, які можуть пошкодити пластини.