Якщо спостерігати за тим, як пластинка виходить з процедури остаточного промивання, можна зрозуміти, що час йде. Якщо нагрівання відбувається з запізненням або нерівномірно, то швидко з’являються сліди води, пошкодження поверхні фотополімеру тощо. Ми створили інфрачервоні обігрівачі для сушіння пластинок, щоб запобігти цьому.
Що є важливим у конструкції обігрівача
Ми використовуємо емітери короткохвильового інфрачервоного випромінювання в компактній кварцовій конструкції. Це забезпечує безпосередню передачу енергії з мінімальною кількістю теплової маси, тож досягається швидка реакція та точний контроль. Під час процесу виробництва ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C по всій зоні сушіння.
Контроль відбувається за допомогою каліброваного датчика, а не через стінки камери. Це забезпечує єдиний рівень точності при кожній партії продукції. Обігрівач підходить для використання в чистих приміщеннях, має клас чистоти 1–100; поверхні обігрівача розроблені так, щоб мінімізувати утворення частинок та випаровування речовин. Ефективність обігрівача залишається стабільною протягом 5 000 годин та більше, з відхиленням інтенсивності нагріву менше 5%.
Чому це ефективно у процесі літографії та обробки фотополімеру
У процесі літографії та обробки фотополімеру температурний режим є дуже важливим. Профілі нагрівання мають бути точними, щоб товщина ліній, їх форма та кількість дефектів залишалися на потрібному рівні. Наш інфрачервоний обігрівач швидко сушить пластинки без перегріву, тож інтегритет фотополімеру залишається недоторканим, а контроль товщини ліній – точним.
Це дозволяє досягти швидкості обробки без жертвування однорідністю. Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки тепло надходить саме туди, де це необхідно. Це призводить до стабільної кількості дефектів, прогнозованої продуктивності та меншої кількості необхідних корекцій.
Кілька деталей щодо встановлення
Під час встановлення необхідно дотримуватися певних толеранцій та правил розташування повітряних потоків. Досягнення однорідності температури ±0,1°C залежить від стабільного ламінарного потоку повітря та відсутності побічних потоків у зоні сушіння. Обігрівач сумісний зі стандартним обладнанням для напівпровідників, але все одно необхідно перевірити відстань між елементами обладнання, теплове навантаження та розташування датчиків.
Обігрівач має довгий термін служби, але все одно необхідно регулярно калібрувати датчик температури. Це дозволяє зберігати необхідний рівень однорідності протягом тривалого часу.