На виробничій ділянці кожен ват, який споживає лінія сушіння, ретельно аналізується. Витрати енергії не повинні підніматися настільки високими, щоб доводилося ризикувати цілісністю фоторезисту. Якщо теплове розподілення зривається, відбувається погіршення контролю ширини ліній і зростання кількості дефектів. Ми створили нашу платформу сушіння для зниження енергоспоживання при сушінні на фабриці, водночас підтримуючи процес у зоні нульової терпимості.
Що важливо під капотом
Ми поєднуємо NIR-джерела з системою зворотного зв’язку для досягнення рівномірності на рівні пластини в межах ±0.1°C по всьому профілю випікання. Точки заданої температури для м’якого і твердого випікання тримаються жорстко та відтворювано, щоб критичні розміри залишалися захищеними після літографії. Сумісність із класом чистоти Cleanroom 1–100 не є випадковістю — шляхи повітря, матеріали й ущільнення обрані для нульового генерації частинок. Пристрій розрахований на безперервну роботу 24/7, компоненти і тепловий дизайн сертифіковані для тривалого навантаження, а інтеграція у наявні процесні інструменти здійснюється через стандартні інтерфейси.
Чому він підходить для фабрики
Ми знижуємо споживання енергії за рахунок швидкого та точного нагрівання, скорочуючи сегмент випікання/сушіння без збільшення теплового бюджету. Ви дотримуєтеся рецепту випікання, але витрачаєте менше часу при температурі і зменшуєте втрати в стані очікування. Це проявляється у зниженні кВт·год на партію, зменшенні кількості переробок через залишковий розчинник і стабільності часового циклу. Та сама точність нагрівання забезпечує сталу сушку після очищення пластини, тому проблеми з утворенням крапель та країв не виникають без ризику пересушування.
Практичні моменти
Монтаж зводиться до узгодження вихлопу, охолодження та шини управління — плануйте підключення комунікацій у наступне вікно ПП (планового профілактичного обслуговування). Система працює оптимально при дотриманні чистоти; тримайте впускні отвори вільними від накопичень та проводьте калібрування за графіком, що відповідає циклу вашого ПП.