Neden sonunda UHP kızılötesi kurutma yöntemine geçiyoruz?
Dürüst olalım: Yarı iletkenleri kurutmak için kullanılan eski yöntemler oldukça verimsiz. Hantal konveksiyon fırınları ve zararlı kimyasallar nedeniyle bu yöntemler artık kabul edilemez hale geldi. Artık Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) kızılötesi lambalar kullanılıyor. Neden mi? Çünkü bunlar daha temiz, daha hızlı çalışıyor ve çevreye zarar vermeden işlemi gerçekleştiriyorlar.
Havayı ısıtmayı bırakın
Bir konveksiyon fırını düşünün. Fırın, wafer henüz ısıyı hissetmeden önce zamanının yarısını havayı ve fırının duvarlarını ısıtmakla geçirir. Bu ise israftır.
UHP kızılötesi lambalar ise farklı şekilde çalışır. Kısa dalga boylu radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan yüzeye iletilir. Aracı yoktur; enerji israfı da olmaz.
Ayrıca, VOC’ler üreten çözücülere de gerek kalmaz. Bu da sıkı çevre denetimlerini çok daha kolay hale getirir.
Temizliği korumak
Temiz odalarda en küçük miktardaki gaz sızıntısı bile işleri berbat edebilir. İşte bu yüzden yüksek saflıklı sentetik kuvars tüpler kullanıyoruz. Bunlar metalik kirleticilerin waferlere ulaşmasını engeller.
En iyi yanı ise hızıdır. Kurutma işlemi saniyeler içinde tamamlanır. Waferler uzun süre ısının etkisinde kalmaz; bu da ince yüzeylerin bozulmasını engeller. Bu da büyük bir rahatlama sağlar.
Değerlendirme
Elbette her şey mükemmel değil. Bu lambalar çok yüksek ısı yoğunluğuna sahip. Bu da hızlı kurutma için harika, ancak güç kaynağı ve soğutma sistemleri üzerinde büyük baskı yaratır. Eğer soğutma sisteminiz yeterli değilse, cihaz aşırı ısınacak ve istenen sıcaklık aralığından çıkacaksınız. Altyapınızın bu yükü kaldırabileceğinden emin olmalısınız.
Geçiş yapmak
Eğer hâlâ eski rezistif ısıtıcıları kullanıyorsanız, bu lambalar pratik olarak onların yerine geçebilir.
Bu, adeta gece ile gündüz kadar büyük bir fark yaratır. Kurutma süresi dakikalardan saniyelere düşer. Makineleriniz daha az yer kaplar, elektrik faturalarınız düşer ve yeşil standartlara ulaşmak için kendi ekipmanlarınızla mücadele etmenize gerek kalmaz.