Wafер üretim sürecindeki lamba arızaları konusunda endişelenmeyi bırakın.
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim tesislerinde, arızalanan kızılötesi lambalar sadece üretimi durdurmakla kalmaz; aynı zamanda büyük bir sorundur. Kuvars tüpü bozulduğunda, sadece çalışmayı bırakmakla kalmaz; aynı zamanda parçalar ve talaşlar wafерlerin üzerine saçılır. Bir tane kötü lamba bile tüm üretimi mahvedebilir. Bu sorunu çözmek için daha iyi bir yöntem bulduk: Kızılötesi lambaları özel paslanmaz çelik kasalarla kapladık.
Kirliliği kontrol altında tutmak
Bu kasa tasarımını, wafерlerin koruyucusu olarak düşünebilirsiniz. Isıtma elemanları ile wafерler arasında fiziksel bir bariyer oluşturmak için yüksek kaliteli paslanmaz çelik kullanıyoruz. Eğer lamba termal stres nedeniyle parçalanırsa, kasa tüm bu parçaları yakalar. Böylece hiçbir parça işleme bölgesine giremez; wafерler zarar görmez ve ekibinizin üzerindeki stres de azalır. Duvarın kalınlığını doğru şekilde ayarlamak için çok zaman harcadık. Eğer duvar çok kalın olursa, aşırı ısı oluşur. Çok inceyse ise kasa titreşime başlar ve bu da lambaların daha hızlı bozulmasına neden olur. Bu oldukça hassas bir denge gerektirir, ancak işe yarıyor.
Stabilite önemlidir
Ayrıca destek yapılarına da dikkat ettik. Eğer lamba sarkarsa, sıcak noktalar oluşur ve bu da hasarlara yol açar. Bunun önüne geçmek için hassas şekilde işlenmiş destekler ve ısıya dayanıklı klipsler kullanıyoruz. İşin püf noktası şudur: Klipsler lambaları sabit tutar, ancak ısındıklarında uzamalarına izin verir. Eğer klipsleri çok sıkı bağlarsanız, güç arttığında lambalar hemen kırılır.
Değerler arasındaki denge
Elbette hiçbir şey mükemmel değildir. Bir kasa eklemek, ısı kaynağı ile wafерler arasında bir metal katmanının oluşmasına neden olur. Açık lamba sistemine kıyasla biraz daha fazla ısı gecikmesi olacaktır. İhtiyaç duyulan hızda üretim yapabilmek için PID ayarlarını veya gücü biraz artırmanız gerekebilir. İyi haber şu ki, bunları mevcut sistemlere kolayca yerleştirebilirsiniz. Böylece çok daha rahat edebilirsiniz.