Houd op met je zorgen maken over kapotte infraroodlampen in je waferverwerkingsproces
In een productieomgeving voor semiconductoren is een kapotte infraroodlamp geen simpel probleem van ‘uitvaltijd’. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartskraan kapotgaat, stopt hij niet alleen met werken. Er vallen scherven en deeltjes op de wafer terecht. Eén slechte lamp kan al een hele partij wafer’s verpesten. We hebben een betere oplossing gevonden: we plaatsen de infraroodlampen in speciaal vervaardigde behuizingen van roestvrij staal.
Het voorkomen van chaos
Stel je voor dat de behuizing een soort ‘bodyguard’ is voor je werkstuk. We gebruiken hoogwaardig roestvrij staal om een fysieke barrière te creëren tussen de verwarmingscomponent en de wafer.
Als een lamp door thermische spanningen kapotgaat, vangt de behuizing alle brokstukken op. De scherven blijven ergens anders liggen. Er gaan geen scherven de verwerkingszone in, er worden geen wafer’s beschadigd, en het team hoeft zich minder zorgen te maken.
We hebben veel tijd besteed aan het vinden van de juiste dikte van de behuizing. Als deze te dik is, ontstaat er te veel thermische massa. Te dun? Dan begint de behuizing te trillen, waardoor de lampen nog sneller kapotgaan. Het is een delicate balans, maar het werkt.
Stabiliteit is belangrijk
We hebben ook aandacht besteed aan de ondersteuning van de lampen. Als een lamp naar beneden hangt, ontstaan er hete plekken. Hete plekken kunnen leiden tot beschadigingen. Simpel gezegd.
Om dit op te lossen, gebruiken we precisiegemaakte onderdelen en hittebestendige clips. Het geheim zit hem erin dat de clips de lampen stabiel houden, maar ze toch toe laten om zich in lengte uit te rekken wanneer ze warm worden. Als je ze te strak vastmaakt, breken ze al snel kapot zodra de stroomtoevoer wordt verhoogd.
De trade-offs
Niets is perfect. Het gebruik van een behuizing betekent dat er een laag metaal tussen de warmtebron en de wafer komt te zitten. Je zult merken dat er wat vertraging optreedt in de warmtetoevoer vergeleken met een setup zonder behuizing. Je moet waarschijnlijk de instellingen van de PID-regeling aanpassen of de stroomtoevoer iets verhogen om de gewenste snelheid te bereiken.
Het goede nieuws? We hebben deze behuizingen zo ontworpen dat ze direct als vervanging kunnen worden gebruikt. Je kunt ze in je bestaande apparatuur plaatsen zonder dat je het hele apparaat hoeft te demonteren. Het is een snelle manier om meer rust te krijgen.