
Het voorkomen van schade aan de MEMS-chips: het behouden van een schone chipoppervlak
In een MEMS-fabriek is een kapotte infraroodlamp geen klein probleem – het is eerder een nachtmerrie. Stel je voor dat een kwartsbuis onder zware belasting breekt. Dan houdt de buis niet alleen op met werken, maar explodeert zelfs. Hierdoor komen er kleine glasfragmenten en metalen deeltjes op het oppervlak van de chip terecht. Hierdoor gaat het rendement van de chips verloren. Onze IR-verwarmingsapparaten zijn speciaal ontworpen om dit te voorkomen.
Waarom buizen eigenlijk barsten
Meestal komt het door thermische spanningen of elektrische problemen in de buurt van de aansluitingen. Wanneer de productie onder maximale druk wordt gezet, worden deze buizen ernstig beschadigd.
Het beperken van schade
Als een lampe kapotgaat, willen we voorkomen dat de scherpe fragmenten de chippoppervlakken raken. Daarom gebruiken we een dubbele beschermingslaag. Er wordt een speciaal ontworpen kwartsomhulsel geplaatst tussen de verwarmingscomponent en de chip. Dit omhulsel fungeert als barrière. Als de lampe kapotgaat, blijven de scherpe fragmenten binnen het omhulsel zitten. Hierdoor blijven de chippoppervlakken schoon.
Kwaliteitscontrole van de connectoren
We zijn ook zeer zorgvuldig met de connectoren. Als een connector niet goed vastzit, kunnen er warmtepunten ontstaan die het kwarts beschadigen. We gebruiken precisie-aansluitingen zodat de elektrische belasting gelijkmatig over het filament wordt verdeeld. Zonder warmtepunten, zonder zwakke punten.
De balans vinden
Het probleem is dat hoge intensiteit in infraroodlicht de enige manier is om de chips snel te drogen. Maar je kunt de stroomsterkte niet eindeloos verhogen. Hoe meer wattage er per centimeter wordt gebruikt, hoe meer spanning er op het glas komt te staan. Het is een compromis. Om te voorkomen dat de lampen te vroeg kapotgaan, moet de koelingsstroming perfect aansluiten op de uitgangssterkte van de lampen. Als de behuizing te heet wordt, neemt de levensduur van de lampen drastisch af.
We bouwen deze apparaten voor 24/7 gebruik. Het doel is simpel: de hitte op peil houden en de schadelijke deeltjes op nul houden.