Hoe je je fabriek schoon houdt op Class 100-niveau
In een Class 100-omgeving is zelfs één klein stofdeeltje een groot probleem – het kan tot grote schade leiden. Als de verwarmingselementen deeltjes afscheiden of gassen afgeven, is dat net alsof je wafer’s in de prullenbak gooit.
Standaard koelingen of goedkope keramische verwarmers zijn hier niet geschikt. Ze brokkelen af, lekken en beschadigen alles. Daarom gebruiken we lampen met synthetisch kwarts dat van zeer hoge zuiverheid is.
Waarom kwarts werkt
We gebruiken gefuseerd silica dat extreem zuiver is. Het grote voordeel is dat het geen gassen afgeeft wanneer het heet wordt. De kwartsstructuur houdt het wolframdraad goed vast; er komt niets naar buiten. Geen metalloxide-deeltjes, geen verrassingen.
En dit is het beste deel: deze lampen gebruiken straling, in plaats van convectie. Er wordt geen lucht rondom het product geblazen, zodat de stofdeeltjes op hun plek blijven – op de grond, ver weg van je apparatuur.
De kracht en de nadelen
Deze lampen hebben een hoge wattdichtheid. Dit zorgt ervoor dat je apparatuur minder ruimte nodig heeft. Wanneer je de spanning verhoogt, wordt het direct heet. Hierdoor werkt je PID-regeling nauwkeuriger. Je kunt de gewenste temperatuur in seconden bereiken. Het is echt snel.
Maar er is één nadeel: al die warmte veroorzaakt veel spanning op de kwartsbuis. Als de bevestigingsonderdelen niet goed passen of de buis te strak wordt vastgehouden, zal deze breken. Zorg er dus voor dat de behuizing voldoende ruimte geeft voor de buis om uit te rekken.
Hoe je ze in je fabriek installeert
We hebben deze lampen ontworpen zodat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Geen problemen. We gebruiken standaardconnectoren, zodat je ze eenvoudig kunt aansluiten. Je hoeft geen moeite te doen met speciale solderwerkzaamheden, waardoor je je geen zorgen hoeft te maken over lood of andere vervuilingen.
Het kwartsoppervlak is ook glad gepolijst. Dit voorkomt dat er ‘hete plekken’ ontstaan, zodat de 300mm-wafers gelijkmatig opwarmen.
Een laatste tip: houd de voedingsbron in de gaten. Als er schommelingen in de spanning zijn, kan het draad eerder beschadigen. Houd de spanning constant, dan blijven de lampen lang goed functioneren.