Halogeenlamp voor RTP systeem
Op de productievloer is het thermisch budget geen suggestie—het is het contract. Een schommeling van een halve graad over de wafer is genoeg om...
Vervanging van Mattson RTP lamp
Wanneer een lamp uitvalt op uw Mattson RTP-apparaat, betekent dat meer dan alleen stilstand. U verliest thermisch budget, het bakprofiel op de...