Leybold 真空加热器备件

在晶圆厂车间，软烘或硬烘过程中的热偏差不仅仅是影响良率，而是直接破坏良率。当Leybold真空加热器开始出现漂移时，光刻胶的剖面会坍塌，关键尺寸（CD）均匀性变差，且蚀刻偏移增大。我们设计制造了这些Leybold真空加热器备件，以确保热预算的准确，循环稳定可控。 下面是设备关键点。加热组件能够保持...