半导体加工用加热元件

在半导体制造厂里，光刻胶烘烤过程中的温度偏差只要达到0.5°C，就足以让原本合格的产品变成废品。晶圆只能等待处理，生产计划也会被打乱，而且颗粒数量还会增加。我们设计的半导体加工用加热元件，就是为了在问题出现之前就防止这种损失。 技术上的关键点 其核心是一种基于石英的短波红外加热器，它的性能与光刻和...