晶圆处理设备用温度传感器

定向红外加热：如何让晶圆加工设备在需要加热的位置保持高温——同时避免损坏操作人员的眼睛 在半导体设备中，问题其实很简单：多余的热量就像小偷一样，会浪费能量、增加成本，还会使设备外部区域变成危险地带。 我们设计了红外加热灯来解决这个问题。它能将热量精准地输送到工艺所需的位置，而不会影响到设备的其他部...