Fabrikalarda Karbon Emisyonlarını Azaltma: IR Kurutmanın Neden Etkili Olduğu
Yarı iletken üretim tesisleri konusunda dürüst olalım; enerji maliyetleri inanılmaz derecede yüksek. Bunun en büyük sebeplerinden biri ise kurutma aşamasıdır. Uzun süredir geleneksel konveksiyon fırınları kullanıldı; ancak karbonsuz hedeflere ulaşmak istiyorsak bu yöntemler artık yeterli değil.
Bu, sadece broşürleri daha çekici göstermek için yapılan bir “yeşil” girişim değil. Burada önemli olan rakamlardır; yani her wafer için ne kadar kilovat-saat enerji harcandığıdır.
IR’nin Mantığı
Zorlu hava ile kurutma yöntemi son derece israfçıdır. Küçük bir yüzeyi kurutmak için odadaki tüm havayı ısıtmak için çok fazla enerji harcanır. Bu, tüm evi ısıtarak sadece bir fincan kahveyi ısıtmaya çalışmak gibidir.
Kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar ise işleri farklı şekilde halleder. Enerji havayı ısıtmak yerine doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Bu bir radyasyon yöntemidir, konveksiyon değil.
Bu değişiklikle birlikte kurutma süreleri %40 ila %60 oranında azalır. Ekipmanların daha az enerji harcamasıyla birlikte karbon ayak iziniz de doğal olarak azalır. Bu kadar basit.
Doğru Ayarlamaların Yapılması
Bu avantajlardan yararlanabilmek için doğru güç yoğunluğuna ihtiyaç vardır. Hedef sıcaklığa saniyeler içinde ulaşabilen bir sistem gereklidir. Bu hız, sürekli ısı sağlamak yerine darbeli güç kullanmanızı sağlar.
Ancak şasenizin termal yükü konusunda dikkatli olmalısınız. Yüksek yoğunluklu kızılötesi lambalar çok fazla ısı üretir. Eğer soğutma fanlarınız veya ısı dağıtıcılarınız yetersizse, sıcaklık kontrol altına alınamaz.
Her zaman entegre PID kontrol cihazları kullanmanızı öneririm. Bunlar her şeyi dengeleyerek waferlerin zarar görmesini engeller.
Tutarsızlıklar
Bunun sihirli bir çözüm olduğunu söylemeyeceğim. IR yöntemi daha hızlı olsa da daha hassastır. Hizalanma çok önemlidir. Lambalar hafifçe bile saparsa, wafer üzerinde soğuk bölgeler oluşur. Başlangıçtaki kalibrasyon için muhtemelen konveksiyon fırınlarına kıyasla daha fazla zaman harcarsınız.
Ancak geometri doğru şekilde ayarlandığında işler yoluna girer. Fabrikanın toplam enerji tüketimi azalır ve HVAC sisteminin odayı soğutmak için o kadar çok çaba sarf etmesine gerek kalmaz.