Şarapnelin önlenmesi: MEMS waflarınızın temiz kalması
Bir MEMS üretim tesisinde, arızalanan kızılötesi lambalar sadece bir rahatsızlık kaynağı değildir; gerçek bir felakettir. Ağır yük altında bozulan bir kuvars tüpünü hayal edin. Sadece çalışmayı bırakmakla kalmaz, aynı zamanda patlar ve wafer yüzeyini küçük cam parçaları ve metallerle kaplar. Böylece üretim veriminiz tamamen yok olur. Biz de bu durumun asla yaşanmaması için özel olarak tasarlanmış kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz.
Tüplerin neden patladığı
Genellikle bu durum, termal stres veya bağlantı noktalarındaki elektriksel arklardan kaynaklanır. Üretimi maksimum seviyeye çıkardığınızda bu tüpler büyük zarar görür. Bununla mücadele etmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu madde çok düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir; bu da hızlı ısıtma/soğutma durumlarında bile zarar görmemesi anlamına gelir.
Kirliliğin kontrol altında tutulması
Eğer bir lamba arızalanırsa, artıkların waflarınıza temas etmesini istemeyiz. İşte bu yüzden çift katmanlı bir güvenlik sistemi kullanıyoruz. Isıtıcı eleman ile wafer arasına özel bir kuvars kılıfı veya koruyucu ekran yerleştiriyoruz. Bu sayede artıklar kılıfın içinde kalır ve waflarınız temiz kalır. Ayrıca konektörler konusunda da son derece dikkatliyiz. Eğer bir terminal doğru şekilde oturtulmazsa, kuvarsişe zarar verebilecek sıcak noktalar oluşur. Biz ise hassas montaj sistemleri kullanarak elektrik yükünün eşit şekilde dağılmasını sağlıyoruz. Böylece ne sıcak noktalar ne de zayıf noktalar oluşur.
Denge kurma
İşin özü şu: Bu wafları hızlıca kurutmak için yüksek yoğunlukta kızılötesi ısı gereklidir. Ancak gücü sürekli artıramayız. Her santimetreye daha fazla güç uyguladığınızda, cam üzerindeki stres artar. Bu bir denge meselesidir. Lambaların erken bozulmasını önlemek için soğutma havası akışının lambanın çıkış gücüyle mükemmel şekilde uyumlu olması gerekir. Eğer gövde çok ısınırsa, lambanın ömrü ciddi şekilde azalır. Biz bu cihazları 24/7 çalışacak şekilde tasarlıyoruz. Amacımız basit: Isıyı sabit tutmak ve partikülleri sıfır seviyesinde tutmak.