Di bilik pengeluaran, proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan faktor penting dalam memastikan kualiti produk. Jika proses pembakaran dilakukan secara tidak tepat, dimensi-dimensi penting pada wafer akan berubah. Jika ketepatan proses pembakaran tidak terjaga, hasil pengeluaran akan merosot. Kami telah mencipta panel pemanas inframerah berbahan seramik untuk mengurangkan variasi tersebut, agar proses litografi dapat berjalan dengan lancar 24/7.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Panel ini menggunakan pemancar inframerah berbahan seramik yang mampu memberikan pemanasan yang cepat dan tepat. Ketinggian suhu pada permukaan wafer kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, dan kualiti hasil pengeluaran tetap konsisten dari satu kitaran ke kitaran seterusnya. Reka bentuk panel ini juga memastikan tiada zarah debu yang terhasil, sehingga jumlah zarah debu di bilik bersih tetap berada dalam tahap Class 1–100. Penghantaran tenaga juga stabil, dengan kawalan yang baik terhadap suhu, sehingga profil bahan fotoresist kekal konsisten dari satu batch ke batch lain.
Inilah sebabnya mengapa panel ini sesuai digunakan dalam proses pengeluaran: diperlukan pemanasan yang cepat dan tepat, tanpa mengganggu proses pengeluaran. Panel ini mampu memberikan pemanasan yang tepat, mengurangkan perbezaan suhu, serta memendekkan masa pemanasan tanpa kehilangan kawalan. Hasilnya adalah penurunan jumlah barang yang perlu diperbaiki, kawalan dimensi yang lebih baik, serta hasil pengeluaran yang lebih konsisten. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana efisiensi pemancar memastikan haba dialirkan ke tempat yang diperlukan, bukan dibazirkan pada dinding ruang pengeluaran.
Pemasangan panel ini mudah, asalkan saiz dan cara penyambungannya sesuai dengan peralatan yang digunakan. Pastikan antara muka pemasangan panel sesuai dengan sistem kabel elektrik yang ada. Panel ini berfungsi dengan baik dalam udara yang bersih dan kering, serta pada voltan yang stabil. Jika voltan tidak stabil, prestasi panel akan terjejas. Rancanglah penggunaan tenaga dan jarak antara panel dengan peralatan pengeluaran dengan teliti, agar panel dapat berfungsi dengan baik.